@mastersthesis{mastersthesis6e5cbf9b,
title   = {Oxidação térmica rápida do silício: influência dos procedimentos de limpeza e dos perfis temporais de temperatura na qualidade dos óxidos de porta MOS},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1996},
school = {Universidade de São Paulo}
}