@mastersthesis{mastersthesis38b2308c, title = {Estudo da formação do siliceto de titânio obtido pela reação de filmes finos de titânio com silício policristalino e com silício amorfo}, author = {Silva, Ana Neilde Rodrigues da and Furlan, Rogério}, year = {1994}, school = {Universidade de São Paulo} }