@mastersthesis{mastersthesis32a40a12,
title   = {Películas de silício microcristalino hidrogenado: um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma},
author = {Dirani, Ely Antonio Tadeu and Andrade, Adnei Melges de},
year = {1991},
school = {Universidade de São Paulo}
}