@mastersthesis{mastersthesis6116c934,
title   = {Desenvolvimento de um sistema multicâmara integrado para deposição e recozimento de filmes 'SI''O IND.2'},
author = {Morimoto, Nilton Itiro and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1995},
school = {Universidade de São Paulo}
}