Plasma etching (1996)
- Autor:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: Notas de Aula
- Conference titles: Oficina de Microeletronica
-
ABNT
VERDONCK, Patrick Bernard. Plasma etching. Anais.. Campinas: Unicamp, 1996. -
APA
Verdonck, P. B. (1996). Plasma etching. In Notas de Aula. Campinas: Unicamp. -
NLM
Verdonck PB. Plasma etching. Notas de Aula. 1996 ; -
Vancouver
Verdonck PB. Plasma etching. Notas de Aula. 1996 ; - Development and characterization of 'SI IND.3''N IND.4' plasma etching processes
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