Study of nickel silicide as mask for alkaline solutions to V-grooves fabrication (2007)
Mascaro, Amanda Rossi; Gonçalves, Lucas Gonçalves Dias; Morimoto, Nilton Itiro 
Fonte: SBMicro 2007. Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO. Unidade: EP
Assunto: MICROELETRÔNICA
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ABNT
MASCARO, Amanda Rossi e GONÇALVES, Lucas Gonçalves Dias e MORIMOTO, Nilton Itiro. Study of nickel silicide as mask for alkaline solutions to V-grooves fabrication. 2007, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2007. . Acesso em: 16 nov. 2025.APA
Mascaro, A. R., Gonçalves, L. G. D., & Morimoto, N. I. (2007). Study of nickel silicide as mask for alkaline solutions to V-grooves fabrication. In SBMicro 2007. Pennington: The Electrochemical Society.NLM
Mascaro AR, Gonçalves LGD, Morimoto NI. Study of nickel silicide as mask for alkaline solutions to V-grooves fabrication. SBMicro 2007. 2007 ;[citado 2025 nov. 16 ]Vancouver
Mascaro AR, Gonçalves LGD, Morimoto NI. Study of nickel silicide as mask for alkaline solutions to V-grooves fabrication. SBMicro 2007. 2007 ;[citado 2025 nov. 16 ]
