Subjects: FILMES FINOS, POLIMERIZAÇÃO, CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
CARVALHO, Rodrigo Amorim Motta. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados. 2009. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/. Acesso em: 15 nov. 2025.APA
Carvalho, R. A. M. (2009). Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/NLM
Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2025 nov. 15 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/Vancouver
Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2025 nov. 15 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
