Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio (1994)
Silva, Ana Neilde Rodrigues da; Furlan, Rogério 
Source: Anais. Conference titles: Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. Unidade: EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
SILVA, Ana Neilde Rodrigues da e FURLAN, Rogério. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. 1994, Anais.. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ, 1994. . Acesso em: 15 nov. 2025.APA
Silva, A. N. R. da, & Furlan, R. (1994). Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. In Anais. Rio de Janeiro: Sbmicro/UFRJ.NLM
Silva ANR da, Furlan R. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. Anais. 1994 ;[citado 2025 nov. 15 ]Vancouver
Silva ANR da, Furlan R. Influência do substrato de silicio policristalino na formação do siliceto de titânio. Anais. 1994 ;[citado 2025 nov. 15 ]
