Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (2005)
Rehder, Gustavo Pamplona 
; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)
Subjects: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SEMICONDUTORES
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ABNT
REHDER, Gustavo Pamplona. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/. Acesso em: 27 nov. 2025.APA
Rehder, G. P. (2005). Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/NLM
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2025 nov. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/Vancouver
Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2025 nov. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
