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Tese (Doutorado)
Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica (1995)
Silva, Maria Lucia Pereira da; Riveros, José Manuel (Orientador)
Unidade: IQ
Assuntos: FÍSICO-QUÍMICA, REAÇÕES QUÍMICAS
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. . Acesso em: 29 jul. 2024.
APA
Silva, M. L. P. da. (1995). Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Silva MLP da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995 ;[citado 2024 jul. 29 ]
Vancouver
Silva MLP da. Quimica ionica de tetraetilortossilicato, tetrametilortossilicato e trimetilborato em fase gasosa e sua relevancia em microeletronica. 1995 ;[citado 2024 jul. 29 ]
Artigo de periodico
Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes (1995)
Silva, Maria Lucia Pereira da; Riveros, José Manuel
Fonte: Journal of Mass Spectrometry. Unidades: IQ, EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da e RIVEROS, José Manuel. Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes. Journal of Mass Spectrometry, v. 30, p. 733-40, 1995Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1002/jms.1190300512. Acesso em: 29 jul. 2024.
APA
Silva, M. L. P. da, & Riveros, J. M. (1995). Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes. Journal of Mass Spectrometry, 30, 733-40. doi:10.1002/jms.1190300512
NLM
Silva MLP da, Riveros JM. Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes [Internet]. Journal of Mass Spectrometry. 1995 ;30 733-40.[citado 2024 jul. 29 ] Available from: https://doi.org/10.1002/jms.1190300512
Vancouver
Silva MLP da, Riveros JM. Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes [Internet]. Journal of Mass Spectrometry. 1995 ;30 733-40.[citado 2024 jul. 29 ] Available from: https://doi.org/10.1002/jms.1190300512
Trabalho de evento
General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos) (1995)
Silva, Maria Lucia Pereira da; Riveros, José Manuel
Fonte: Proceedings. Nome do evento: Congress of the Brazilian Microelectronics Society. Unidades: IQ, EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da e RIVEROS, José Manuel. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). 1995, Anais.. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs, 1995. . Acesso em: 29 jul. 2024.
APA
Silva, M. L. P. da, & Riveros, J. M. (1995). General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). In Proceedings. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs.
NLM
Silva MLP da, Riveros JM. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). Proceedings. 1995 ;[citado 2024 jul. 29 ]
Vancouver
Silva MLP da, Riveros JM. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). Proceedings. 1995 ;[citado 2024 jul. 29 ]
Dissertação (Mestrado)
Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria (1989)
Silva, Maria Lucia Pereira da; Riveros, José Manuel (Orientador)
Unidade: IQ
Assunto: ESPECTROMETRIA DE MASSAS
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ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da. Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria. 1989. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1989. . Acesso em: 29 jul. 2024.
APA
Silva, M. L. P. da. (1989). Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
NLM
Silva MLP da. Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria. 1989 ;[citado 2024 jul. 29 ]
Vancouver
Silva MLP da. Estudo da corrosao de 'SI''O POT.2'/'SI' em plasma de cf4 por espectrometria de massa e interferometria. 1989 ;[citado 2024 jul. 29 ]

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