Electrochemical process for MEMS fabrication (2002)
Source: IBERSENSOR 2002. Conference titles: Congreso Iberoamericano de Sensores y Biosensores. Unidade: EP
Assunto: SENSORES ELETROMECÂNICOS
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ABNT
DANTAS, Michel Oliveira da Silva et al. Electrochemical process for MEMS fabrication. 2002, Anais.. Lima: Pontifícia Universidad Católica del Perú, 2002. . Acesso em: 17 out. 2024.APA
Dantas, M. O. da S., Galeazzo, E., Peres, H. E. M., & Ramírez Fernandez, F. J. (2002). Electrochemical process for MEMS fabrication. In IBERSENSOR 2002. Lima: Pontifícia Universidad Católica del Perú.NLM
Dantas MO da S, Galeazzo E, Peres HEM, Ramírez Fernandez FJ. Electrochemical process for MEMS fabrication. IBERSENSOR 2002. 2002 ;[citado 2024 out. 17 ]Vancouver
Dantas MO da S, Galeazzo E, Peres HEM, Ramírez Fernandez FJ. Electrochemical process for MEMS fabrication. IBERSENSOR 2002. 2002 ;[citado 2024 out. 17 ]