Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio (1981)
Unidade: EP
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ABNT
ENGEL, Paulo Martins. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1981. . Acesso em: 28 ago. 2024.APA
Engel, P. M. (1981). Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Engel PM. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981 ;[citado 2024 ago. 28 ]Vancouver
Engel PM. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981 ;[citado 2024 ago. 28 ]
