Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA), FILMES FINOS, DIELÉTRICOS, CARBONO
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ABNT
MANSANO, Ronaldo Domingues. Estudo e desenvolvimento de processos de deposição por plasma de filmes de carbono amorfo hidrogenado (Diamond Like Carbon - DLC). 2002. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-06072022-073436/. Acesso em: 15 out. 2024.APA
Mansano, R. D. (2002). Estudo e desenvolvimento de processos de deposição por plasma de filmes de carbono amorfo hidrogenado (Diamond Like Carbon - DLC) (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-06072022-073436/NLM
Mansano RD. Estudo e desenvolvimento de processos de deposição por plasma de filmes de carbono amorfo hidrogenado (Diamond Like Carbon - DLC) [Internet]. 2002 ;[citado 2024 out. 15 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-06072022-073436/Vancouver
Mansano RD. Estudo e desenvolvimento de processos de deposição por plasma de filmes de carbono amorfo hidrogenado (Diamond Like Carbon - DLC) [Internet]. 2002 ;[citado 2024 out. 15 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-06072022-073436/
