Criado, Denise 
; Alayo Chávez, Marco Isaías ; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu ; Pereyra, Inés
Source: Journal of non-crystalline solids. Unidades: IF, EP
Subjects: DIFRAÇÃO POR RAIOS X, ESTRUTURA DOS SÓLIDOS, FILMES FINOS
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ABNT
CRIADO, Denise et al. Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications. Journal of non-crystalline solids, v. 352, n. 23-25, p. 2319-2323, 2006Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.03.012. Acesso em: 02 maio 2026.APA
Criado, D., Alayo Chávez, M. I., Fantini, M. C. de A., & Pereyra, I. (2006). Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications. Journal of non-crystalline solids, 352( 23-25), 2319-2323. doi:10.1016/j.jnoncrysol.2006.03.012NLM
Criado D, Alayo Chávez MI, Fantini MC de A, Pereyra I. Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications [Internet]. Journal of non-crystalline solids. 2006 ; 352( 23-25): 2319-2323.[citado 2026 maio 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.03.012Vancouver
Criado D, Alayo Chávez MI, Fantini MC de A, Pereyra I. Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applications [Internet]. Journal of non-crystalline solids. 2006 ; 352( 23-25): 2319-2323.[citado 2026 maio 02 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.03.012
