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  • Unidade: EP

    Subjects: ESTRUTURA DOS MATERIAIS, DIELÉTRICOS (PROPRIEDADES), ÓPTICA ELETRÔNICA, DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS, SEMICONDUTORES, SILÍCIO

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    • ABNT

      SOUZA, Denise Criado Pereira de; PEREYRA, Inés. Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD. 2007.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-145807/ >.
    • APA

      Souza, D. C. P. de, & Pereyra, I. (2007). Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-145807/
    • NLM

      Souza DCP de, Pereyra I. Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-145807/
    • Vancouver

      Souza DCP de, Pereyra I. Estudo da morfologia e estrutura de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) obtidos pela técnica de PECVD [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09012008-145807/
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, SILÍCIO

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    • ABNT

      SOUZA, Denise Criado Pereira de; PEREYRA, Inés. Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD. 2003.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09062003-113450/ >.
    • APA

      Souza, D. C. P. de, & Pereyra, I. (2003). Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09062003-113450/
    • NLM

      Souza DCP de, Pereyra I. Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD [Internet]. 2003 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09062003-113450/
    • Vancouver

      Souza DCP de, Pereyra I. Estudo e produção de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy) pela técnica de PECVD [Internet]. 2003 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09062003-113450/

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