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  • Unidade: EP

    Subjects: NANOTUBOS, NANOCIÊNCIA, NANOTECNOLOGIA, ANODIZAÇÃO

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      ARRUDA, Pâmela Marques de; PEREYRA, Inés. Membranas de nanotubos de TiiO2 aplicadas na fabricação de sensores e células solares. 2017.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28022018-134042/pt-br.php >.
    • APA

      Arruda, P. M. de, & Pereyra, I. (2017). Membranas de nanotubos de TiiO2 aplicadas na fabricação de sensores e células solares. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28022018-134042/pt-br.php
    • NLM

      Arruda PM de, Pereyra I. Membranas de nanotubos de TiiO2 aplicadas na fabricação de sensores e células solares [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28022018-134042/pt-br.php
    • Vancouver

      Arruda PM de, Pereyra I. Membranas de nanotubos de TiiO2 aplicadas na fabricação de sensores e células solares [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28022018-134042/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: NANOTUBOS, ANODIZAÇÃO, FOTOCATÁLISE

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    • ABNT

      BONELLI, Thiago Scremin; PEREYRA, Inés. Produção, caracterização morfológica e nitretação de nanotubos de TiO2. 2017.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-103731/pt-br.php >.
    • APA

      Bonelli, T. S., & Pereyra, I. (2017). Produção, caracterização morfológica e nitretação de nanotubos de TiO2. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-103731/pt-br.php
    • NLM

      Bonelli TS, Pereyra I. Produção, caracterização morfológica e nitretação de nanotubos de TiO2 [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-103731/pt-br.php
    • Vancouver

      Bonelli TS, Pereyra I. Produção, caracterização morfológica e nitretação de nanotubos de TiO2 [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-103731/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: ESPECTROSCOPIA RAMAN, MATERIAIS NANOESTRUTURADOS, CARBONO, FILMES FINOS

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    • ABNT

      FERIA GARNICA, Deissy Johanna; PEREYRA, Inés; PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu. 2017.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-105347/pt-br.php >.
    • APA

      Feria Garnica, D. J., Pereyra, I., & Páez Carreño, M. N. (2017). Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-105347/pt-br.php
    • NLM

      Feria Garnica DJ, Pereyra I, Páez Carreño MN. Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-105347/pt-br.php
    • Vancouver

      Feria Garnica DJ, Pereyra I, Páez Carreño MN. Síntese e caracterização de grafeno por CVD catalítico em filmes finos de Ni e Cu [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012018-105347/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, BÁRIO

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    • ABNT

      PELEGRINI, Marcus Vinícius; PEREYRA, Inés. Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ. 2016.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082016-154730/pt-br.php >.
    • APA

      Pelegrini, M. V., & Pereyra, I. (2016). Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082016-154730/pt-br.php
    • NLM

      Pelegrini MV, Pereyra I. Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ [Internet]. 2016 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082016-154730/pt-br.php
    • Vancouver

      Pelegrini MV, Pereyra I. Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ [Internet]. 2016 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082016-154730/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: NANOPARTÍCULAS, CATÁLISE, NANOTECNOLOGIA, PLASMA (MICROELETRÔNICA)

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    • ABNT

      LOPEZ SILVA, Diego Edison; PEREYRA, Inés. Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD. 2016.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18012017-150102/pt-br.php >.
    • APA

      Lopez Silva, D. E., & Pereyra, I. (2016). Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18012017-150102/pt-br.php
    • NLM

      Lopez Silva DE, Pereyra I. Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD [Internet]. 2016 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18012017-150102/pt-br.php
    • Vancouver

      Lopez Silva DE, Pereyra I. Síntese e caracterização de nanotubos de carbono mediante as técnicas de CVD e PECVD [Internet]. 2016 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18012017-150102/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA

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      CUNHA JUNIOR, Rubens Martins; PEREYRA, Inés. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico. 2015.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/pt-br.php >.
    • APA

      Cunha Junior, R. M., & Pereyra, I. (2015). Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/pt-br.php
    • NLM

      Cunha Junior RM, Pereyra I. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/pt-br.php
    • Vancouver

      Cunha Junior RM, Pereyra I. Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico [Internet]. 2015 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072016-153016/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Assunto: NANOTECNOLOGIA

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    • ABNT

      ABE, Igor Yamamoto; PEREYRA, Inés. Síntese de nanotubos de carbono pela técnica de deposição química a vapor. 2014.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2014. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24042015-152437/pt-br.php >.
    • APA

      Abe, I. Y., & Pereyra, I. (2014). Síntese de nanotubos de carbono pela técnica de deposição química a vapor. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24042015-152437/pt-br.php
    • NLM

      Abe IY, Pereyra I. Síntese de nanotubos de carbono pela técnica de deposição química a vapor [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24042015-152437/pt-br.php
    • Vancouver

      Abe IY, Pereyra I. Síntese de nanotubos de carbono pela técnica de deposição química a vapor [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24042015-152437/pt-br.php
  • Source: Canadian Journal of Physics. Unidade: EP

    Subjects: RASTREAMENTO, ULTRASSONOGRAFIA

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    • ABNT

      ALVARADO, M. A.; PELEGRINI, Marcus Vinícius; PEREYRA, Inés; ASSUMPÇÃO, T.A.A; KASSAB, Luciana Reyes Pires. Fabrication and characterization of aluminum nitride pedestal-type optical waveguide. Canadian Journal of Physics, New York, NRC Research Press, v. 92, p. 952-954, 2014. DOI: 10.1139/cjp-2013-0587.
    • APA

      Alvarado, M. A., Pelegrini, M. V., Pereyra, I., Assumpção, T. A. A., & Kassab, L. R. P. (2014). Fabrication and characterization of aluminum nitride pedestal-type optical waveguide. Canadian Journal of Physics, 92, 952-954. doi:10.1139/cjp-2013-0587
    • NLM

      Alvarado MA, Pelegrini MV, Pereyra I, Assumpção TAA, Kassab LRP. Fabrication and characterization of aluminum nitride pedestal-type optical waveguide. Canadian Journal of Physics. 2014 ;92 952-954.
    • Vancouver

      Alvarado MA, Pelegrini MV, Pereyra I, Assumpção TAA, Kassab LRP. Fabrication and characterization of aluminum nitride pedestal-type optical waveguide. Canadian Journal of Physics. 2014 ;92 952-954.
  • Source: Canadian Journal of Physics. Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, FOTÔNICA

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    • ABNT

      PELEGRINI, Marcelo Aparecido; PEREYRA, Inés; ALVARADO, M. A; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering1. Canadian Journal of Physics[S.l.], Canadian Science, v. 92, n. 7/8, p. 940-942, 2014. Disponível em: < https://doi.org/10.1139/cjp-2013-0556 > DOI: 10.1139/cjp-2013-0556.
    • APA

      Pelegrini, M. A., Pereyra, I., Alvarado, M. A., & Alayo Chávez, M. I. (2014). Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering1. Canadian Journal of Physics, 92( 7/8), 940-942. doi:10.1139/cjp-2013-0556
    • NLM

      Pelegrini MA, Pereyra I, Alvarado MA, Alayo Chávez MI. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering1 [Internet]. Canadian Journal of Physics. 2014 ; 92( 7/8): 940-942.Available from: https://doi.org/10.1139/cjp-2013-0556
    • Vancouver

      Pelegrini MA, Pereyra I, Alvarado MA, Alayo Chávez MI. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering1 [Internet]. Canadian Journal of Physics. 2014 ; 92( 7/8): 940-942.Available from: https://doi.org/10.1139/cjp-2013-0556
  • Source: Canadian Journal of Physics. Unidade: EP

    Assunto: RADIOGRAFIA

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    • ABNT

      PELEGRINI, Marcus Vinícius; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías; ALVARADO, M. A.; PEREYRA, Inés. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering. Canadian Journal of Physics, New York, NRC ResearchPress, v. 92, p. 940-942, 2014. DOI: 10.1139/cjp-2013-0556.
    • APA

      Pelegrini, M. V., Alayo Chávez, M. I., Alvarado, M. A., & Pereyra, I. (2014). Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering. Canadian Journal of Physics, 92, 940-942. doi:10.1139/cjp-2013-0556
    • NLM

      Pelegrini MV, Alayo Chávez MI, Alvarado MA, Pereyra I. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering. Canadian Journal of Physics. 2014 ;92 940-942.
    • Vancouver

      Pelegrini MV, Alayo Chávez MI, Alvarado MA, Pereyra I. Deposition and characterization of AlN thin films obtained by radio frequency reactive magnetron sputtering. Canadian Journal of Physics. 2014 ;92 940-942.
  • Unidade: EP

    Assunto: CÉLULAS SOLARES

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    • ABNT

      FRAGA, Tiago Marques; PEREYRA, Inés. Produção de nanotubos de TiO₂ visando sua aplicação em células solares. 2012.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2012. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18062013-154723/pt-br.php >.
    • APA

      Fraga, T. M., & Pereyra, I. (2012). Produção de nanotubos de TiO₂ visando sua aplicação em células solares. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18062013-154723/pt-br.php
    • NLM

      Fraga TM, Pereyra I. Produção de nanotubos de TiO₂ visando sua aplicação em células solares [Internet]. 2012 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18062013-154723/pt-br.php
    • Vancouver

      Fraga TM, Pereyra I. Produção de nanotubos de TiO₂ visando sua aplicação em células solares [Internet]. 2012 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18062013-154723/pt-br.php
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Assunto: DIELÉTRICOS

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    • ABNT

      ALBERTIN, Katia Franklin; PEREYRA, Inés. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 937-940, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982656.
    • APA

      Albertin, K. F., & Pereyra, I. (2010). Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 937-940. doi:10.1002/pssc.200982656
    • NLM

      Albertin KF, Pereyra I. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 937-940.
    • Vancouver

      Albertin KF, Pereyra I. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 937-940.
  • Source: Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. Unidade: EP

    Assunto: ELETROQUÍMICA

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    • ABNT

      CAVALLARI, Marcelo Mattos; ALBERTIN, Katia Franklin; SANTOS, G.; et al. Voltage-depedent mobility characterization of MDMO-PPV thin-film transistors for flexible sensor applications. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, New Jersey, The Electrochemical Society, v. 31, n. 1, p. 425-432, 2010.
    • APA

      Cavallari, M. M., Albertin, K. F., Santos, G., Ramos, C. A. S., Pereyra, I., Fonseca, F. J., & Andrade, A. M. (2010). Voltage-depedent mobility characterization of MDMO-PPV thin-film transistors for flexible sensor applications. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, 31( 1), 425-432.
    • NLM

      Cavallari MM, Albertin KF, Santos G, Ramos CAS, Pereyra I, Fonseca FJ, Andrade AM. Voltage-depedent mobility characterization of MDMO-PPV thin-film transistors for flexible sensor applications. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 425-432.
    • Vancouver

      Cavallari MM, Albertin KF, Santos G, Ramos CAS, Pereyra I, Fonseca FJ, Andrade AM. Voltage-depedent mobility characterization of MDMO-PPV thin-film transistors for flexible sensor applications. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ;31( 1): 425-432.
  • Unidade: EP

    Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, ATUADORES PIEZELÉTRICOS

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    • ABNT

      PELEGRINI, Marcus Vinícius; PEREYRA, Inés. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. 2010.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Pelegrini, M. V., & Pereyra, I. (2010). Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
    • NLM

      Pelegrini MV, Pereyra I. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Pelegrini MV, Pereyra I. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
  • Source: Journal of Integrated Circuits and Systems. Unidades: EP, IEE

    Subjects: TRANSISTORES, SEMICONDUTORES

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    • ABNT

      CAVALLARI, Marco Roberto; ALBERTIN, Katia Franklin; SANTOS, Gerson dos; et al. PECVD silicon oxynitrite as insulator for MDMO-PPV thin-film transistors. Journal of Integrated Circuits and Systems, Porto Alegre, v. 5, n. 2, p. 116-124, 2010.
    • APA

      Cavallari, M. R., Albertin, K. F., Santos, G. dos, Ramos, C. A. S., Pereyra, I., Fonseca, F. J., & Andrade, A. M. de. (2010). PECVD silicon oxynitrite as insulator for MDMO-PPV thin-film transistors. Journal of Integrated Circuits and Systems, 5( 2), 116-124.
    • NLM

      Cavallari MR, Albertin KF, Santos G dos, Ramos CAS, Pereyra I, Fonseca FJ, Andrade AM de. PECVD silicon oxynitrite as insulator for MDMO-PPV thin-film transistors. Journal of Integrated Circuits and Systems. 2010 ;5( 2): 116-124.
    • Vancouver

      Cavallari MR, Albertin KF, Santos G dos, Ramos CAS, Pereyra I, Fonseca FJ, Andrade AM de. PECVD silicon oxynitrite as insulator for MDMO-PPV thin-film transistors. Journal of Integrated Circuits and Systems. 2010 ;5( 2): 116-124.
  • Source: Physica Status Solid C. Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, SEMICONDUTORES

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    • ABNT

      ALBERTIN, Katia Franklin; PEREYRA, Inés. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solid C, Berlin, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 937-940, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982656.
    • APA

      Albertin, K. F., & Pereyra, I. (2010). Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solid C, 7( 3-4), 937-940. doi:10.1002/pssc.200982656
    • NLM

      Albertin KF, Pereyra I. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solid C. 2010 ; 7( 3-4): 937-940.
    • Vancouver

      Albertin KF, Pereyra I. Study of metal-oxide-semiconductor capacitors with r.f. magnetron sputtering TiOxNy films dielectric layer. Physica Status Solid C. 2010 ; 7( 3-4): 937-940.
  • Source: Physica Status Solid C. Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, SEMICONDUTORES, METAIS

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    • ABNT

      OLIVEIRA, Alessandro Ricardo; PEREYRA, Inés; PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solid C, Berlin, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 793-796, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982839.
    • APA

      Oliveira, A. R., Pereyra, I., & Páez Carreño, M. N. (2010). A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solid C, 7( 3-4), 793-796. doi:10.1002/pssc.200982839
    • NLM

      Oliveira AR, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solid C. 2010 ;7( 3-4): 793-796.
    • Vancouver

      Oliveira AR, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solid C. 2010 ;7( 3-4): 793-796.
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    DOIHow to cite
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    • ABNT

      OLIVEIRA, Alessandro Ricardo de; PEREYRA, Inés; PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 793-796, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982839.
    • APA

      Oliveira, A. R. de, Pereyra, I., & Páez Carreño, M. N. (2010). A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 793-796. doi:10.1002/pssc.200982839
    • NLM

      Oliveira AR de, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 793-796.
    • Vancouver

      Oliveira AR de, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 793-796.
  • Source: Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. Unidade: EP

    Subjects: CAPACITORES, MICROSCOPIA ELETRÔNICA

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    • ABNT

      ALBERTIN, Katia Franklin; CRIADO, D.; ZUÑIGA, A.; PEREYRA, Inés. Study of TiOxNy MOS capacitors. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, New Jersey, The Electrochemical Society, v. 31, n. 1, p. 349-358, 2010. DOI: 10.1149/1.3474179.
    • APA

      Albertin, K. F., Criado, D., Zuñiga, A., & Pereyra, I. (2010). Study of TiOxNy MOS capacitors. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010, 31( 1), 349-358. doi:10.1149/1.3474179
    • NLM

      Albertin KF, Criado D, Zuñiga A, Pereyra I. Study of TiOxNy MOS capacitors. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ; 31( 1): 349-358.
    • Vancouver

      Albertin KF, Criado D, Zuñiga A, Pereyra I. Study of TiOxNy MOS capacitors. Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2010. 2010 ; 31( 1): 349-358.
  • Unidade: EP

    Subjects: SILÍCIO, FILMES FINOS, FOTOLUMINESCÊNCIA

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    • ABNT

      RIBEIRO, Márcia; PEREYRA, Inés. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício. 2009.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/ >.
    • APA

      Ribeiro, M., & Pereyra, I. (2009). Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/
    • NLM

      Ribeiro M, Pereyra I. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício [Internet]. 2009 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/
    • Vancouver

      Ribeiro M, Pereyra I. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício [Internet]. 2009 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/

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