Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom) (1997)
Source: Proceedings. Conference titles: Conference of the Brazilian Microelectronics Society. Unidade: EP
Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS, SEMICONDUTORES
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ABNT
NAKAZAWA, A M e VERDONCK, Patrick Bernard. Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom). 1997, Anais.. Itajubá: SBMICRO/EFEI, 1997. . Acesso em: 24 abr. 2024.APA
Nakazawa, A. M., & Verdonck, P. B. (1997). Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom). In Proceedings. Itajubá: SBMICRO/EFEI.NLM
Nakazawa AM, Verdonck PB. Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom). Proceedings. 1997 ;[citado 2024 abr. 24 ]Vancouver
Nakazawa AM, Verdonck PB. Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom). Proceedings. 1997 ;[citado 2024 abr. 24 ]