Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system (1995)
Morimoto, Nilton Itiro 
; Swart, Jacobus Willibrordus; Yoshihiro, F M
Source: Proceedings. Conference titles: Congress of the Brazilian Microelectronics Society. Unidade: EP
Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
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ABNT
MORIMOTO, Nilton Itiro e SWART, Jacobus Willibrordus e YOSHIHIRO, F M. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. 1995, Anais.. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs, 1995. . Acesso em: 14 nov. 2024.APA
Morimoto, N. I., Swart, J. W., & Yoshihiro, F. M. (1995). Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. In Proceedings. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs.NLM
Morimoto NI, Swart JW, Yoshihiro FM. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. Proceedings. 1995 ;[citado 2024 nov. 14 ]Vancouver
Morimoto NI, Swart JW, Yoshihiro FM. Pecvd teos silicon oxide deposited in a home made cluster tool system. Proceedings. 1995 ;[citado 2024 nov. 14 ]
