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  • Tese (Doutorado)

    Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC (2008)

    Yamamoto, Roberto Katsuhiro; Maciel, Homero Santiago (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: PLASMA (MICROELETRÔNICA)

    Acesso à fonteHow to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC. 2008. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/. Acesso em: 27 set. 2024.

    • APA

      Yamamoto, R. K. (2008). Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/

    • NLM

      Yamamoto RK. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC [Internet]. 2008 ;[citado 2024 set. 27 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/

    • Vancouver

      Yamamoto RK. Desenvolvimento de um gerador de microplasma utilizando a tecnologia LTCC [Internet]. 2008 ;[citado 2024 set. 27 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14082008-171713/

  • Dissertação (Mestrado)

    Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir (1992)

    Yamamoto, Roberto Katsuhiro; Maciel, Homero Santiago (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA

    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1992. . Acesso em: 27 set. 2024.

    • APA

      Yamamoto, R. K. (1992). Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.

    • NLM

      Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 set. 27 ]

    • Vancouver

      Yamamoto RK. Estudo e caracterizacao da corrosao de silicio com plasma de cbrf3 e medidas de propriedades do plasma com sondas de langmuir. 1992 ;[citado 2024 set. 27 ]
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