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  • Unidade: EP

    Subjects: POLIMERIZAÇÃO, FILMES FINOS, MATERIAIS COMPÓSITOS, SENSOR (FABRICAÇÃO)

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    • ABNT

      LIMA, Roberto da Rocha. Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores. 2009. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16022009-172602/. Acesso em: 04 out. 2024.
    • APA

      Lima, R. da R. (2009). Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16022009-172602/
    • NLM

      Lima R da R. Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16022009-172602/
    • Vancouver

      Lima R da R. Construção de equipamento de plasma para obtenção de filmes finos e compósitos úteis na fabricação de sensores [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-16022009-172602/
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, POLIMERIZAÇÃO, CIRCUITOS INTEGRADOS

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    • ABNT

      CARVALHO, Rodrigo Amorim Motta. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados. 2009. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/. Acesso em: 04 out. 2024.
    • APA

      Carvalho, R. A. M. (2009). Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
    • NLM

      Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
    • Vancouver

      Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 out. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/

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