Assuntos: FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
ABNT
OLIVEIRA, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/. Acesso em: 21 ago. 2024.APA
Oliveira, R. A. R. de. (2022). Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/NLM
Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/Vancouver
Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/