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  • Tese (Doutorado)

    Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas (2022)

    Oliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de ; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      OLIVEIRA, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Oliveira, R. A. R. de. (2022). Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/

    • NLM

      Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/

    • Vancouver

      Oliveira RAR de. Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072023-135552/

  • Tese (Doutorado)

    Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (2016)

    Colombo, Fábio Belotti; Páez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: AUTÔMATOS CELULARES, SIMULAÇÃO, MICROELETRÔNICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      COLOMBO, Fábio Belotti. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação. 2016. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2016. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Colombo, F. B. (2016). Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

    • NLM

      Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

    • Vancouver

      Colombo FB. Aplicação de autômatos celulares para simulação de processos de microfabricação [Internet]. 2016 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07032017-144709/

  • Tese (Doutorado)

    Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD (1994)

    Páez Carreño, Marcelo Nelson ; Pereyra, Inés (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA

    Como citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Páez Carreño, M. N. (1994). Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.

    • NLM

      Páez Carreño MN. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994 ;[citado 2024 ago. 21 ]

    • Vancouver

      Páez Carreño MN. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994 ;[citado 2024 ago. 21 ]
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