Morales Alvarado, Ary Adilson; Pereyra, Inés (Orientador) 
Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, DISPOSITIVOS ÓPTICOS
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ABNT
MORALES ALVARADO, Ary Adilson. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. 2008. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/. Acesso em: 07 out. 2024.APA
Morales Alvarado, A. A. (2008). Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/NLM
Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 out. 07 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/Vancouver
Morales Alvarado AA. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;[citado 2024 out. 07 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
