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Vocabulário Controlado do SIBiUSP


  • Unidade: EP

    Subjects: DISPOSITIVOS ÓPTICOS, MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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      ARMAS ALVARADO, Maria Elisia; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal. 2017.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/pt-br.php >.
    • APA

      Armas Alvarado, M. E., & Alayo Chávez, M. I. (2017). Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/pt-br.php
    • NLM

      Armas Alvarado ME, Alayo Chávez MI. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/pt-br.php
    • Vancouver

      Armas Alvarado ME, Alayo Chávez MI. Produção e caracterização de filmes de nitreto de alumínio e sua aplicação em guias de onda tipo pedestal [Internet]. 2017 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-12072017-085316/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      DAMIANI, Larissa Rodrigues; MANSANO, Ronaldo Domingues. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. 2015.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/pt-br.php >.
    • APA

      Damiani, L. R., & Mansano, R. D. (2015). Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/pt-br.php
    • NLM

      Damiani LR, Mansano RD. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/pt-br.php
    • Vancouver

      Damiani LR, Mansano RD. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: DISPOSITIVOS ÓPTICOS, MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      CAMILO, Mauricio Eiji; KASSAB, Luciana Reyes Pires. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados. 2014.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2014. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/pt-br.php >.
    • APA

      Camilo, M. E., & Kassab, L. R. P. (2014). Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/pt-br.php
    • NLM

      Camilo ME, Kassab LRP. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/pt-br.php
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      Camilo ME, Kassab LRP. Produção de Interferômetros Mach-Zehnder utilizando guias de onda do tipo pedestal e filmes finos de Bi₂O₃-WO₃-TeO₂ para aplicações em sensores ópticos integrados [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-30122014-113909/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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      ESPINOSA, Daniel Humberto Garcia; ONMORI, Roberto Koji. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo. 2011.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/pt-br.php >.
    • APA

      Espinosa, D. H. G., & Onmori, R. K. (2011). Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/pt-br.php
    • NLM

      Espinosa DHG, Onmori RK. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/pt-br.php
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      Espinosa DHG, Onmori RK. Efeito de lente térmica e não-linearidades ópticas do silício amorfo hidrogenado dopado com fósforo [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-25082011-162113/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: SOFTWARES (SIMULAÇÃO), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, AUTÔMATOS CELULARES, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

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    • ABNT

      COLOMBO, Fábio Belotti; PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. 2011.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php >.
    • APA

      Colombo, F. B., & Páez Carreño, M. N. (2011). Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php
    • NLM

      Colombo FB, Páez Carreño MN. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php
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      Colombo FB, Páez Carreño MN. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/pt-br.php
  • Unidade: EP

    Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, ATUADORES PIEZELÉTRICOS

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    • ABNT

      PELEGRINI, Marcus Vinícius; PEREYRA, Inés. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. 2010.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Pelegrini, M. V., & Pereyra, I. (2010). Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
    • NLM

      Pelegrini MV, Pereyra I. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Pelegrini MV, Pereyra I. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/?&lang=pt-br
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      GOLLUB, Alexandre Henrique; CARVALHO, Daniel Orquiza de; PAIVA, Thiago C; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Hollow core ARROW waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperatures. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 964-967, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982889.
    • APA

      Gollub, A. H., Carvalho, D. O. de, Paiva, T. C., & Alayo Chávez, M. I. (2010). Hollow core ARROW waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperatures. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 964-967. doi:10.1002/pssc.200982889
    • NLM

      Gollub AH, Carvalho DO de, Paiva TC, Alayo Chávez MI. Hollow core ARROW waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperatures. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 964-967.
    • Vancouver

      Gollub AH, Carvalho DO de, Paiva TC, Alayo Chávez MI. Hollow core ARROW waveguides fabricated with SiOxNy films deposited at low temperatures. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 964-967.
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      CARVALHO, Daniel Orquiza de; ALBERTIN, Katia Franklin; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 960-963, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982878.
    • APA

      Carvalho, D. O. de, Albertin, K. F., & Alayo Chávez, M. I. (2010). TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 960-963. doi:10.1002/pssc.200982878
    • NLM

      Carvalho DO de, Albertin KF, Alayo Chávez MI. TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 960-963.
    • Vancouver

      Carvalho DO de, Albertin KF, Alayo Chávez MI. TiOxNy anti-resonant layer ARROW waveguides. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 960-963.
  • Unidade: EP

    Subjects: FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, MATERIAIS, ELETROQUÍMICA, CORROSÃO, SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA), NANOTECNOLOGIA, MATERIAIS NANOESTRUTURADOS, NANOPARTÍCULAS

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    • ABNT

      ROQUE HUANCA, Danilo; SALCEDO, Walter Jaimes. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos. 2010.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Roque Huanca, D., & Salcedo, W. J. (2010). Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/?&lang=pt-br
    • NLM

      Roque Huanca D, Salcedo WJ. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Roque Huanca D, Salcedo WJ. Microtubos e nanotubos de silício fabricados por processos químicos e eletroquímicos [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20082010-154954/?&lang=pt-br
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

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    • ABNT

      OLIVEIRA, Alessandro Ricardo de; PEREYRA, Inés; PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 793-796, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982839.
    • APA

      Oliveira, A. R. de, Pereyra, I., & Páez Carreño, M. N. (2010). A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 793-796. doi:10.1002/pssc.200982839
    • NLM

      Oliveira AR de, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 793-796.
    • Vancouver

      Oliveira AR de, Pereyra I, Páez Carreño MN. A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 793-796.
  • Source: Physica Status Solidi (c). Unidade: EP

    Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      CARVALHO, Daniel Orquiza de; ALBERTIN, Katia Franklin; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Optimized-geometry ARROW waveguides using TiO2 as anti-resonant layer. Physica Status Solidi (c), Warsaw, Wiley-VCH, v. 7, n. 3-4, p. 719-719, 2010. DOI: 10.1002/pssc.200982795.
    • APA

      Carvalho, D. O. de, Albertin, K. F., & Alayo Chávez, M. I. (2010). Optimized-geometry ARROW waveguides using TiO2 as anti-resonant layer. Physica Status Solidi (c), 7( 3-4), 719-719. doi:10.1002/pssc.200982795
    • NLM

      Carvalho DO de, Albertin KF, Alayo Chávez MI. Optimized-geometry ARROW waveguides using TiO2 as anti-resonant layer. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 719-719.
    • Vancouver

      Carvalho DO de, Albertin KF, Alayo Chávez MI. Optimized-geometry ARROW waveguides using TiO2 as anti-resonant layer. Physica Status Solidi (c). 2010 ; 7( 3-4): 719-719.
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      DAMIANI, Larissa Rodrigues; MANSANO, Ronaldo Domingues. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering. 2009.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Damiani, L. R., & Mansano, R. D. (2009). Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/?&lang=pt-br
    • NLM

      Damiani LR, Mansano RD. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Damiani LR, Mansano RD. Filmes de óxido de índio dopado com estanho depositados por magnetron sputtering [Internet]. 2009 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31052010-165402/?&lang=pt-br
  • Unidade: EP

    Assunto: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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      SILVA, Felipe José Ferreira Sabino da; FURLAN, Humber. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/ >.
    • APA

      Silva, F. J. F. S. da, & Furlan, H. (2008). Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
    • NLM

      Silva FJFS da, Furlan H. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
    • Vancouver

      Silva FJFS da, Furlan H. Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH e sais metálicos [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13052009-090110/
  • Unidade: EP

    Subjects: ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      CARVALHO, Daniel Orquiza de; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/ >.
    • APA

      Carvalho, D. O. de, & Alayo Chávez, M. I. (2008). Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
    • NLM

      Carvalho DO de, Alayo Chávez MI. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
    • Vancouver

      Carvalho DO de, Alayo Chávez MI. Estudo e desenvolvimento de guias de onda ARROW, com camadas anti-ressonantes de a-SiC:H e TiOx, para aplicação em dispositivos de óptica integrada [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082008-142151/
  • Unidade: EP

    Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE FABRICAÇÃO

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      SCHIANTI, Juliana de Novais; PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/ >.
    • APA

      Schianti, J. de N., & Paez Carreño, M. N. (2008). Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
    • NLM

      Schianti J de N, Paez Carreño MN. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
    • Vancouver

      Schianti J de N, Paez Carreño MN. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19082008-083259/
  • Unidade: EP

    Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FILMES FINOS, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, DISPOSITIVOS ÓPTICOS

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    • ABNT

      MORALES ALVARADO, Ary Adilson; PEREYRA, Inés. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/ >.
    • APA

      Morales Alvarado, A. A., & Pereyra, I. (2008). Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
    • NLM

      Morales Alvarado AA, Pereyra I. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
    • Vancouver

      Morales Alvarado AA, Pereyra I. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11052009-170655/
  • Unidade: EP

    Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PLASMA (MICROELETRÔNICA), DISPOSITIVOS ÓPTICOS

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    • ABNT

      REHDER, Gustavo Pamplona; PAEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/ >.
    • APA

      Rehder, G. P., & Paez Carreño, M. N. (2008). Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
    • NLM

      Rehder GP, Paez Carreño MN. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
    • Vancouver

      Rehder GP, Paez Carreño MN. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/
  • Unidade: EP

    Subjects: ÓPTICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      MINA, Alexandre Martin; ALAYO CHÁVEZ, Marco Isaías. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/ >.
    • APA

      Mina, A. M., & Alayo Chávez, M. I. (2008). Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
    • NLM

      Mina AM, Alayo Chávez MI. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
    • Vancouver

      Mina AM, Alayo Chávez MI. Estudo das etapas de fabricação de dispositivos eletro-termo-ópticos utilizando o interferômetro Mach-Zehnder [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24092008-140132/
  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, PLASMA (MICROELETRÔNICA), PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA

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    • ABNT

      ROCHA, Otávio Filipe da; VIANA, Carlos Eduardo. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura. 2007.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/ >.
    • APA

      Rocha, O. F. da, & Viana, C. E. (2007). Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
    • NLM

      Rocha OF da, Viana CE. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
    • Vancouver

      Rocha OF da, Viana CE. Caracterização de filmes finos de óxido de silício depositados em um reator HD-PECVD a partir de TEOS a ultra baixa temperatura [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08012008-142809/
  • Unidade: EP

    Subjects: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SENSOR, SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA), ELETROQUÍMICA

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    • ABNT

      STELET, Adriana Barboza; SALCEDO, Walter Jaimes. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina. 2007.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/ >.
    • APA

      Stelet, A. B., & Salcedo, W. J. (2007). Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/
    • NLM

      Stelet AB, Salcedo WJ. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/
    • Vancouver

      Stelet AB, Salcedo WJ. Contribuição ao desenvolvimento de dispositivos sensores de gás baseados em moléculas organo-metálicas de ftalocianina [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-150638/

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