Pelegrini, Marcus Vinícius 
; Pereyra, Inés (Orientador)
Subjects: ENGENHARIA ELÉTRICA, MICROELETRÔNICA, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, ATUADORES PIEZELÉTRICOS
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ABNT
PELEGRINI, Marcus Vinícius. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS. 2010. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/. Acesso em: 29 set. 2024.APA
Pelegrini, M. V. (2010). Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/NLM
Pelegrini MV. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;[citado 2024 set. 29 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/Vancouver
Pelegrini MV. Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS [Internet]. 2010 ;[citado 2024 set. 29 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21102010-102150/
