Dantas, Michel Oliveira da Silva; Galeazzo, Elisabete (Orientador) 
Assuntos: SILÍCIO, CIRCUITOS INTEGRADOS, ANODIZAÇÃO
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ABNT
DANTAS, Michel Oliveira da Silva. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial. 2003. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. . Acesso em: 30 set. 2024.APA
Dantas, M. O. da S. (2003). Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Dantas MO da S. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial. 2003 ;[citado 2024 set. 30 ]Vancouver
Dantas MO da S. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial. 2003 ;[citado 2024 set. 30 ]
