Dantas, Michel Oliveira da Silva; Galeazzo, Elisabete (Orientador) 
Subjects: SILÍCIO, CIRCUITOS INTEGRADOS, ANODIZAÇÃO
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ABNT
DANTAS, Michel Oliveira da Silva. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial. 2003. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-103553/pt-br.php. Acesso em: 12 nov. 2024.APA
Dantas, M. O. da S. (2003). Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-103553/pt-br.phpNLM
Dantas MO da S. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial [Internet]. 2003 ;[citado 2024 nov. 12 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-103553/pt-br.phpVancouver
Dantas MO da S. Obtenção de microestruturas de silício utilizando a tecnologia do silício poroso como camada sacrificial [Internet]. 2003 ;[citado 2024 nov. 12 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-103553/pt-br.php
