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  • Unidade: EP

    Subjects: FILMES FINOS, POLIMERIZAÇÃO, CIRCUITOS INTEGRADOS

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    • ABNT

      CARVALHO, Rodrigo Amorim Motta. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados. 2009. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/. Acesso em: 29 jun. 2024.
    • APA

      Carvalho, R. A. M. (2009). Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
    • NLM

      Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 jun. 29 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
    • Vancouver

      Carvalho RAM. Uso de filmes obtidos pela polimerização por plasma de tetraetilortossilicato na fabricação de dispositivos miniaturizados [Internet]. 2009 ;[citado 2024 jun. 29 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29062009-183313/
  • Unidade: EP

    Subjects: POLIMERIZAÇÃO, PLASMA (MICROELETRÔNICA), FILMES FINOS, NANOTECNOLOGIA

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    • ABNT

      CARVALHO, Rodrigo Amorim Motta. Obtenção de filme poroso, útil na determinação de umidade e proteção contra radiação ultravioleta. 2004. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004. . Acesso em: 29 jun. 2024.
    • APA

      Carvalho, R. A. M. (2004). Obtenção de filme poroso, útil na determinação de umidade e proteção contra radiação ultravioleta (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Carvalho RAM. Obtenção de filme poroso, útil na determinação de umidade e proteção contra radiação ultravioleta. 2004 ;[citado 2024 jun. 29 ]
    • Vancouver

      Carvalho RAM. Obtenção de filme poroso, útil na determinação de umidade e proteção contra radiação ultravioleta. 2004 ;[citado 2024 jun. 29 ]

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