Subjects: FILMES FINOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA
ABNT
DAMIANI, Larissa Rodrigues. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio. 2015. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2015. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/. Acesso em: 31 ago. 2024.APA
Damiani, L. R. (2015). Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/NLM
Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 31 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/Vancouver
Damiani LR. Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio [Internet]. 2015 ;[citado 2024 ago. 31 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-13072016-142431/