Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD (1994)
Páez Carreño, Marcelo Nelson 
; Pereyra, Inés (Orientador)
Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
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ABNT
PÁEZ CARREÑO, Marcelo Nelson. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 20 jun. 2024.APA
Páez Carreño, M. N. (1994). Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Páez Carreño MN. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]Vancouver
Páez Carreño MN. Filmes de carbeto de silício de alto gap óptico obtidos pela técnica de PECVD. 1994 ;[citado 2024 jun. 20 ]
