Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser (2013)
Almeida, G. F. B.; Cardoso, Marcos Roberto; Aoki, P. H. B.; Constantino, C. J. L.; Lima Júnior, J. D.; Rodrigues, C. A.; Costa, Luciano da Fontoura 
; Mendonça, Cleber Renato
Source: Livro de Resumos. Conference titles: Semana Integrada do Instituto de Física de São Carlos - SIFSC. Unidade: IFSC
Subjects: LASER, SILÍCIO, MICROSCOPIA, FILMES FINOS
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ABNT
ALMEIDA, G. F. B. et al. Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser. 2013, Anais.. São Carlos: Universidade de São Paulo - USP, Instituto de Física de São Carlos - IFSC, 2013. . Acesso em: 12 nov. 2024.APA
Almeida, G. F. B., Cardoso, M. R., Aoki, P. H. B., Constantino, C. J. L., Lima Júnior, J. D., Rodrigues, C. A., et al. (2013). Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser. In Livro de Resumos. São Carlos: Universidade de São Paulo - USP, Instituto de Física de São Carlos - IFSC.NLM
Almeida GFB, Cardoso MR, Aoki PHB, Constantino CJL, Lima Júnior JD, Rodrigues CA, Costa L da F, Mendonça CR. Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser. Livro de Resumos. 2013 ;[citado 2024 nov. 12 ]Vancouver
Almeida GFB, Cardoso MR, Aoki PHB, Constantino CJL, Lima Júnior JD, Rodrigues CA, Costa L da F, Mendonça CR. Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser. Livro de Resumos. 2013 ;[citado 2024 nov. 12 ]
