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  • Dissertação (Mestrado)

    Sistema de interferometria por micro-ondas em 60GHz para a medição de ângulo e distância de alvos, baseado na estrutura de seis portas sob tecnologia de membrana de nanofios metálicos (2024)

    Aranda, Walter Santiago Campos; Serrano, Ariana Lacorte Caniato (Orientador) ; Rehder, Gustavo Pamplona (coorient)

    Unidade: EP

    Assuntos: ANTENAS, INTERFEROMETRIA

    Acesso à fonteComo citar
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    • ABNT

      ARANDA, Walter Santiago Campos. Sistema de interferometria por micro-ondas em 60GHz para a medição de ângulo e distância de alvos, baseado na estrutura de seis portas sob tecnologia de membrana de nanofios metálicos. 2024. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2024. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23052024-112553/pt-br.php. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Aranda, W. S. C. (2024). Sistema de interferometria por micro-ondas em 60GHz para a medição de ângulo e distância de alvos, baseado na estrutura de seis portas sob tecnologia de membrana de nanofios metálicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23052024-112553/pt-br.php

    • NLM

      Aranda WSC. Sistema de interferometria por micro-ondas em 60GHz para a medição de ângulo e distância de alvos, baseado na estrutura de seis portas sob tecnologia de membrana de nanofios metálicos [Internet]. 2024 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23052024-112553/pt-br.php

    • Vancouver

      Aranda WSC. Sistema de interferometria por micro-ondas em 60GHz para a medição de ângulo e distância de alvos, baseado na estrutura de seis portas sob tecnologia de membrana de nanofios metálicos [Internet]. 2024 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23052024-112553/pt-br.php

  • Tese (Doutorado)

    Non enzymatic glucose biosensor design, fabrication, and application (2023)

    Omidvar, Amir Hossein; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: SENSOR, TECNOLOGIA DE MICRO-ONDAS, POLÍMEROS (MATERIAIS), GLICOSE, FILMES FINOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      OMIDVAR, Amir Hossein. Non enzymatic glucose biosensor design, fabrication, and application. 2023. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2023. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072023-071556/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Omidvar, A. H. (2023). Non enzymatic glucose biosensor design, fabrication, and application (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072023-071556/

    • NLM

      Omidvar AH. Non enzymatic glucose biosensor design, fabrication, and application [Internet]. 2023 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072023-071556/

    • Vancouver

      Omidvar AH. Non enzymatic glucose biosensor design, fabrication, and application [Internet]. 2023 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072023-071556/

  • Dissertação (Mestrado)

    Improvements and W Band expansion of the antenna characterization system of the EPUSP mmW Center (2023)

    Lé, João Eduardo Gentil; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador) ; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (coorient)

    Unidade: EP

    Assuntos: ANTENAS, INSTRUMENTAÇÃO ELÉTRICA, TELECOMUNICAÇÕES

    Acesso à fonteComo citar
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    • ABNT

      LÉ, João Eduardo Gentil. Improvements and W Band expansion of the antenna characterization system of the EPUSP mmW Center. 2023. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2023. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012024-114157/pt-br.php. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Lé, J. E. G. (2023). Improvements and W Band expansion of the antenna characterization system of the EPUSP mmW Center (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012024-114157/pt-br.php

    • NLM

      Lé JEG. Improvements and W Band expansion of the antenna characterization system of the EPUSP mmW Center [Internet]. 2023 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012024-114157/pt-br.php

    • Vancouver

      Lé JEG. Improvements and W Band expansion of the antenna characterization system of the EPUSP mmW Center [Internet]. 2023 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012024-114157/pt-br.php

  • Tese (Doutorado)

    Design of phase shifters in nanowire membrane technology and VCOs in CMOS technology at millimeter-waves for future full frontend integration (2022)

    Gomes, Leonardo Amorese Gallo; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (Orientador); Ferrari, Philippe (coorient); Rehder, Gustavo Pamplona (coorient)

    Unidade: EP

    Assuntos: MICROELETRÔNICA, OSCILADORES, CIRCUITOS INTEGRADOS, TELECOMUNICAÇÕES

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      GOMES, Leonardo Amorese Gallo. Design of phase shifters in nanowire membrane technology and VCOs in CMOS technology at millimeter-waves for future full frontend integration. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052023-112905/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Gomes, L. A. G. (2022). Design of phase shifters in nanowire membrane technology and VCOs in CMOS technology at millimeter-waves for future full frontend integration (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052023-112905/

    • NLM

      Gomes LAG. Design of phase shifters in nanowire membrane technology and VCOs in CMOS technology at millimeter-waves for future full frontend integration [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052023-112905/

    • Vancouver

      Gomes LAG. Design of phase shifters in nanowire membrane technology and VCOs in CMOS technology at millimeter-waves for future full frontend integration [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-24052023-112905/

  • Tese (Doutorado)

    Microwave-based microfluidic biosensors: from the design and implementation to real-time sensing (2022)

    Shahri, Atena Amanati; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (Orientador); Rehder, Gustavo Pamplona (coorient)

    Unidade: EP

    Assuntos: SENSOR, TECNOLOGIA DE MICRO-ONDAS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      SHAHRI, Atena Amanati. Microwave-based microfluidic biosensors: from the design and implementation to real-time sensing. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31032023-081427/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Shahri, A. A. (2022). Microwave-based microfluidic biosensors: from the design and implementation to real-time sensing (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31032023-081427/

    • NLM

      Shahri AA. Microwave-based microfluidic biosensors: from the design and implementation to real-time sensing [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31032023-081427/

    • Vancouver

      Shahri AA. Microwave-based microfluidic biosensors: from the design and implementation to real-time sensing [Internet]. 2022 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31032023-081427/

  • Dissertação (Mestrado)

    Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas (2021)

    Verona, Bruno Marinaro; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador) ; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (coorient)

    Unidade: EP

    Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      VERONA, Bruno Marinaro. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas. 2021. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2021. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Verona, B. M. (2021). Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/

    • NLM

      Verona BM. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2021 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/

    • Vancouver

      Verona BM. Matriz de Butler em interposer MnM para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2021 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-31012022-123610/

  • Tese (Livre Docência)

    RF MEMS em ondas milimétricas. (2020)

    Rehder, Gustavo Pamplona

    Unidade: EP

    Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      REHDER, Gustavo Pamplona. RF MEMS em ondas milimétricas. 2020. Tese (Livre Docência) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2020. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Rehder, G. P. (2020). RF MEMS em ondas milimétricas. (Tese (Livre Docência). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/

    • NLM

      Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/

    • Vancouver

      Rehder GP. RF MEMS em ondas milimétricas. [Internet]. 2020 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/livredocencia/3/tde-29012021-095847/

  • Dissertação (Mestrado)

    Fabricação e caracterização de um dispositivo óptico desenvolvido com tecnologia CMOS de 0,35 µm (2019)

    Gamero Sobero, Vanessa Julia; Alayo Chávez, Marco Isaías (Orientador) ; Rehder, Gustavo Pamplona (coorient)

    Unidade: EP

    Assuntos: DISPOSITIVOS ÓPTICOS, SEMICONDUTORES

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      GAMERO SOBERO, Vanessa Julia. Fabricação e caracterização de um dispositivo óptico desenvolvido com tecnologia CMOS de 0,35 µm. 2019. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2019. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01022023-091536/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Gamero Sobero, V. J. (2019). Fabricação e caracterização de um dispositivo óptico desenvolvido com tecnologia CMOS de 0,35 µm (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01022023-091536/

    • NLM

      Gamero Sobero VJ. Fabricação e caracterização de um dispositivo óptico desenvolvido com tecnologia CMOS de 0,35 µm [Internet]. 2019 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01022023-091536/

    • Vancouver

      Gamero Sobero VJ. Fabricação e caracterização de um dispositivo óptico desenvolvido com tecnologia CMOS de 0,35 µm [Internet]. 2019 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01022023-091536/

  • Tese (Doutorado)

    Tecnologias para defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas (2018)

    Bovadilla, Robert Aleksander Gavidia; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador) ; Serrano, Ariana Maria da Conceição Lacorte Caniato (coorient)

    Unidade: EP

    Assunto: MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      BOVADILLA, Robert Aleksander Gavidia. Tecnologias para defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas. 2018. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2018. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03102018-093939/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Bovadilla, R. A. G. (2018). Tecnologias para defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03102018-093939/

    • NLM

      Bovadilla RAG. Tecnologias para defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas [Internet]. 2018 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03102018-093939/

    • Vancouver

      Bovadilla RAG. Tecnologias para defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas [Internet]. 2018 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03102018-093939/

  • Dissertação (Mestrado)

    Simulação, fabricação e caracterização de MEMS para extração de propriedades mecânicas de filmes finos (2017)

    Santos, Erick Araújo; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: RESSONÂNCIA MAGNÉTICA, TENSÃO RESIDUAL

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      SANTOS, Erick Araújo. Simulação, fabricação e caracterização de MEMS para extração de propriedades mecânicas de filmes finos. 2017. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06042018-104336/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Santos, E. A. (2017). Simulação, fabricação e caracterização de MEMS para extração de propriedades mecânicas de filmes finos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06042018-104336/

    • NLM

      Santos EA. Simulação, fabricação e caracterização de MEMS para extração de propriedades mecânicas de filmes finos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06042018-104336/

    • Vancouver

      Santos EA. Simulação, fabricação e caracterização de MEMS para extração de propriedades mecânicas de filmes finos [Internet]. 2017 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06042018-104336/

  • Dissertação (Mestrado)

    Desenvolvimento de defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas para aplicações em 60 GHz (2017)

    Bedoyam Llano, Franz Sebastián; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador)

    Unidade: EP

    Assunto: MICROELETRÔNICA

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      BEDOYAM LLANO, Franz Sebastián. Desenvolvimento de defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas para aplicações em 60 GHz. 2017. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2017. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10042018-080717/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Bedoyam Llano, F. S. (2017). Desenvolvimento de defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas para aplicações em 60 GHz (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10042018-080717/

    • NLM

      Bedoyam Llano FS. Desenvolvimento de defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas para aplicações em 60 GHz [Internet]. 2017 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10042018-080717/

    • Vancouver

      Bedoyam Llano FS. Desenvolvimento de defasadores baseados em MEMS e linhas de transmissão de ondas lentas para aplicações em 60 GHz [Internet]. 2017 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10042018-080717/

  • Dissertação (Mestrado)

    Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas (2013)

    Gavidia Bovadilla, Robert Aleksander; Rehder, Gustavo Pamplona (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: MICROELETRÔNICA, SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      GAVIDIA BOVADILLA, Robert Aleksander. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas. 2013. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2013. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Gavidia Bovadilla, R. A. (2013). Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/

    • NLM

      Gavidia Bovadilla RA. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2013 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/

    • Vancouver

      Gavidia Bovadilla RA. Defasador baseado em MEMS distribuídos para aplicações em ondas milimétricas [Internet]. 2013 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23092014-100330/

  • Tese (Doutorado)

    Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS (2008)

    Rehder, Gustavo Pamplona ; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), PLASMA (MICROELETRÔNICA), DISPOSITIVOS ÓPTICOS

    Acesso à fonteComo citar
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      REHDER, Gustavo Pamplona. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS. 2008. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Rehder, G. P. (2008). Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/

    • NLM

      Rehder GP. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/

    • Vancouver

      Rehder GP. Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS [Internet]. 2008 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09022009-162824/

  • Dissertação (Mestrado)

    Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (2005)

    Rehder, Gustavo Pamplona ; Paez Carreño, Marcelo Nelson (Orientador)

    Unidade: EP

    Assuntos: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS, PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA, FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA), SEMICONDUTORES

    Acesso à fonteComo citar
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    • ABNT

      REHDER, Gustavo Pamplona. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD. 2005. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/. Acesso em: 21 ago. 2024.

    • APA

      Rehder, G. P. (2005). Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/

    • NLM

      Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/

    • Vancouver

      Rehder GP. Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD [Internet]. 2005 ;[citado 2024 ago. 21 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18052022-142156/
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