Femtosecond laser processing of amorphous silicon films (2024)
- Authors:
- USP affiliated authors: MENDONÇA, CLEBER RENATO - IFSC ; PAULA, KELLY TASSO DE - IFSC ; VOLLET FILHO, JOSÉ DIRCEU - IFSC
- Unidade: IFSC
- DOI: 10.1016/j.jmapro.2024.08.029
- Subjects: LASER; FILMES FINOS; PROPRIEDADES DOS MATERIAIS
- Keywords: Femtosecond micromachining; Amorphous silicon; Incubation effect
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título: Journal of Manufacturing Processes
- ISSN: 1526-6125
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 128, p. 50-59, Oct. 2024
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: bronze
- Licença: publisher-specific-oa
-
ABNT
PAULA, Kelly Tasso de et al. Femtosecond laser processing of amorphous silicon films. Journal of Manufacturing Processes, v. 128, p. 50-59, 2024Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.08.029. Acesso em: 27 dez. 2025. -
APA
Paula, K. T. de, Lin, H. I., Yang, F., Vollet Filho, J. D., Gu, T., Hu, J. J., & Mendonça, C. R. (2024). Femtosecond laser processing of amorphous silicon films. Journal of Manufacturing Processes, 128, 50-59. doi:10.1016/j.jmapro.2024.08.029 -
NLM
Paula KT de, Lin HI, Yang F, Vollet Filho JD, Gu T, Hu JJ, Mendonça CR. Femtosecond laser processing of amorphous silicon films [Internet]. Journal of Manufacturing Processes. 2024 ; 128 50-59.[citado 2025 dez. 27 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.08.029 -
Vancouver
Paula KT de, Lin HI, Yang F, Vollet Filho JD, Gu T, Hu JJ, Mendonça CR. Femtosecond laser processing of amorphous silicon films [Internet]. Journal of Manufacturing Processes. 2024 ; 128 50-59.[citado 2025 dez. 27 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.08.029 - 2D Raman analysis of structural modifications induced by femtosecond laser in tellurite-zinc waveguides
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Informações sobre o DOI: 10.1016/j.jmapro.2024.08.029 (Fonte: oaDOI API)
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