Platinum micromachining using femtosecond laser pulses (2023)
- Authors:
- Autor USP: ROCHA, LUIZ EDUARDO RAPHAEL DA - IFSC
- Unidade: IFSC
- Sigla do Departamento: FCM
- DOI: 10.11606/D.76.2023.tde-13112023-104708
- Subjects: ÓPTICA NÃO LINEAR; LASER; PLATINA
- Keywords: Efeito de incubação; Femtosecond micromachining; Incubation effect; Laser induced forward transfer; Microfabricação com laser de femtossegundos; Microfabricação de platina; Non linear optics; Platinum micromachining; Transferência induzida a Laser
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Abstract: Dentre as muitos técnicas de microfabricação, as técnicas de Escrita Direta a Laser, ou Direct Laser Writing (DLW), trazem grandes vantagens ao processo, como a alta resolução, o controle do tamanho e da espessura na microfabricação e mantendo as propriedades do material após o procedimento. A técnica de Transferência Induzida a Laser, ou Laser Induced Forward Transfer (LIFT), é uma técnica de Escrita Direta a Laser em que seu princípio é transferir a energia de um pulso do laser para uma amostra, fazendo com que o material que absorve a energia na região em que se focalize o feixe seja transferido em gotas para um substrato. A técnica pode ser usada associada a um laser de pulsos ultracurtos, o que gera uma interação não linear da luz com a matéria, e com isso, a técnica resulta em deposições de alta resolução e qualidade e evitando a degradação do material transferido. Uma grande variedade de materiais podem ser estudados via LIFT, incluindo metais, que chamam atenção dos pesquisadores por suas aplicações tecnológicas. Estruturas microfabricadas de platina são usadas para produção de sensores, principalmente, por sua alta estabilidade em diferentes condições, além de outras aplicações. Neste trabalho, filmes finos de platina (Pt) foram usadas como doadoras de material para a técnica de LIFT com femtossegundo. Para caracterizar as microfabricações de platina em lâminas de vidro, microscopia óptica e microscopia eletrônica de varredura foram usadas. Além disso, foi estudadaa influência da taxa de repetição do laser, a energia do pulso e da velocidade de varredura na microfabricação, e determinadas as melhores condições de microfabricação da platina nos setups usados, além de determinar a fluência de threshold e estudar o efeito de incubação. Dois sistemas foram usados, um centrado em 800 nm (5 MHz e energias em nJ) e outro centrado em 1030 nm (1 kHz à 1 MHz e energias em μJ). Foi observado que as melhores condições de microfabricação são no segundo sistema, com energias de 3 à 6 μJ, taxa de repetição próxima a 1 kHz, além de que as deposições são homogêneas e bem definidas. Além disso, foram estudadas diversas estruturas e mostrada a possibilidade de fazer microfabricação de estruturas tri-dimensionais
- Imprenta:
- Publisher place: São Carlos
- Date published: 2023
- Data da defesa: 29.08.2023
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: gold
- Licença: cc-by-nc-sa
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ABNT
ROCHA, Luiz Eduardo Raphael da. Platinum micromachining using femtosecond laser pulses. 2023. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 2023. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76134/tde-13112023-104708/. Acesso em: 28 dez. 2025. -
APA
Rocha, L. E. R. da. (2023). Platinum micromachining using femtosecond laser pulses (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76134/tde-13112023-104708/ -
NLM
Rocha LER da. Platinum micromachining using femtosecond laser pulses [Internet]. 2023 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76134/tde-13112023-104708/ -
Vancouver
Rocha LER da. Platinum micromachining using femtosecond laser pulses [Internet]. 2023 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76134/tde-13112023-104708/ - Direct laser writing of platinum via femtosecond laser-induced forward transfer
- Laser induced forward transfer of silver nanoparticles patterns
- Laser induced forward transfer of silver nanoparticles patterns
- Repetition rate influence in platinum micromachining using femtosecond laser induced forward transfer
- Platinum micromachining using fs-laser pulses
Informações sobre o DOI: 10.11606/D.76.2023.tde-13112023-104708 (Fonte: oaDOI API)
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