Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering (2023)
- Authors:
- USP affiliated authors: MASTELARO, VALMOR ROBERTO - IFSC ; BERNARDI, MARIA INES BASSO - IFSC
- Unidade: IFSC
- Subjects: ZINCO; VIDRO CERÂMICO; FILMES FINOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Associação Brasileira de Cerâmica - ABCERAM
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2023
- Source:
- Título: Programação
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Cerâmica - CBC
-
ABNT
SOUZA, Agda Eunice de et al. Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering. 2023, Anais.. São Paulo: Associação Brasileira de Cerâmica - ABCERAM, 2023. Disponível em: https://metallum.com.br/67cbc/program-detalhes-info.php?cod=22027. Acesso em: 09 jan. 2026. -
APA
Souza, A. E. de, Mastelaro, V. R., Bernardi, M. I. B., Sales, D. H., Teixeira, S. R., & Longo, E. (2023). Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering. In Programação. São Paulo: Associação Brasileira de Cerâmica - ABCERAM. Recuperado de https://metallum.com.br/67cbc/program-detalhes-info.php?cod=22027 -
NLM
Souza AE de, Mastelaro VR, Bernardi MIB, Sales DH, Teixeira SR, Longo E. Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering [Internet]. Programação. 2023 ;[citado 2026 jan. 09 ] Available from: https://metallum.com.br/67cbc/program-detalhes-info.php?cod=22027 -
Vancouver
Souza AE de, Mastelaro VR, Bernardi MIB, Sales DH, Teixeira SR, Longo E. Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering [Internet]. Programação. 2023 ;[citado 2026 jan. 09 ] Available from: https://metallum.com.br/67cbc/program-detalhes-info.php?cod=22027 - Synthesis and characterization of ZnO-MgO-NiOCoO-CuO high entropy oxides
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