A method for deposition rate estimation on a low-cost home-built DC sputter system (2022)
- Authors:
- Autor USP: JASINEVICIUS, RENATO GOULART - EESC
- Unidade: EESC
- DOI: 10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038
- Subjects: FILMES FINOS; SEMICONDUTORES; ENGENHARIA MECÂNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: IEEE
- Publisher place: Piscataway, NJ, USA
- Date published: 2022
- Conference titles: Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMicro
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
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ABNT
PINTO, H. M. e JASINEVICIUS, Renato Goulart e CIRINO, G. A. A method for deposition rate estimation on a low-cost home-built DC sputter system. 2022, Anais.. Piscataway, NJ, USA: IEEE, 2022. Disponível em: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038. Acesso em: 09 nov. 2024. -
APA
Pinto, H. M., Jasinevicius, R. G., & Cirino, G. A. (2022). A method for deposition rate estimation on a low-cost home-built DC sputter system. In . Piscataway, NJ, USA: IEEE. doi:10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038 -
NLM
Pinto HM, Jasinevicius RG, Cirino GA. A method for deposition rate estimation on a low-cost home-built DC sputter system [Internet]. 2022 ;[citado 2024 nov. 09 ] Available from: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038 -
Vancouver
Pinto HM, Jasinevicius RG, Cirino GA. A method for deposition rate estimation on a low-cost home-built DC sputter system [Internet]. 2022 ;[citado 2024 nov. 09 ] Available from: https://doi.org/10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038 - Desenvolvimento do processo de usinagem de ultraprecisão de espelhos ópticos em metais não ferrosos
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Informações sobre o DOI: 10.1109/SBMICRO55822.2022.9881038 (Fonte: oaDOI API)
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