Determinação de propriedades mecânicas de filmes de DLC (Diamond-Like carbon) por meio de estruturas formadas por delaminação espontânea (2022)
- Authors:
- Autor USP: ÁLVAREZ, ROBINSON FRANCO - IF
- Unidade: IF
- Sigla do Departamento: FAP
- DOI: 10.11606/T.43.2022.tde-15062022-071251
- Subjects: FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA; SUPERFÍCIE FÍSICA; FILMES FINOS; FÍSICA DO ESTADO SÓLIDO; PROPRIEDADES DOS SÓLIDOS
- Keywords: DIAMOND- LIKE CARBON (DLC); FILMS; MECHANICAL PROPERTIES; SPONTANEOUS DELAMINATION; TELEPHONE CORD BUCKLES (TC); DELAMINAÇÃO ESPONTÂNEA; PROPRIEDADES MECÂNICAS
- Agências de fomento:
- Language: Português
- Abstract: Inúmeras aplicações tecnológicas tais como eletrônica, ótica, transporte e outras indústrias, exigem a síntese de peças pequenas que podem ser cobertas por um filme em determinado momento de sua construção melhorando assim as características dessas peças para aplicações específicas. Nesse sentido, os filmes são usados para otimizar uma ou mais propriedades do substrato no qual é depositado, ou mesmo para dotá-lo de novas propriedades físicas ou químicas. A delaminação dos filmes a partir de seu substrato é geralmente um fenômeno indesejável nos diferentes tipos de aplicações, por exemplo, um grande número de falhas em circuitos integrados resultam, em boa parte, do comportamento mecânico do filme-substrato (delaminação, fraturas, etc.). No entanto, as propriedades mecânicas dos filmes finos são testadas por diferentes métodos convencionais que podem não ser adequados para filmes com espessura inferior a 1 m. Como exemplo, entre as diferentes técnicas experimentais desenvolvidas para estudar as propriedades mecânicas dos filmes, assim como também para estudar as características de fratura da interface filme-substrato, os testes de nanoindentação são ótimos para tais estudos, embora essas técnicas são limitadas pois não podem exceder 1030% da espessura do filme. Este trabalho propõe, Como alternativa a tais limitações, novas abordagens que usam as próprias deformações estruturais do filme por conta da delaminação para desenvolver técnicas que permitam caracterizar as propriedades mecânicas do material do qual está feito este filme assim como a interface filme-substrato o que poderia ser grande utilidade em diferentes aplicações tecnológicas relacionadas à microeletrônica, microfluídica e, em geral, dispositivos NEMS e MEMS (Nano and Micro-Electro-Mechanical-Systems).Neste trabalho se apresenta inicialmente análises feitas em deformações tipo Straight Sides (SS). Para tanto, foram feitas experiências de deposição em Polimetilmetacrilato (PMMA) litografado criando áreas cujos comprimentos são muito maiores do que sua largura mostrando condições experimentais necessárias para obtenção de estruturas do tipo SS bem formadas as quais foram estudadas através de diferentes modelos. Logo se apresentam modelos teóricos para estruturas mais complexas chamadas Telephone Cord (TC), assim, com o estudo dos dados experimentais através desses modelos, foram obtidas propriedades mecânicas dos filmes de DLC, como feito para estruturas SS.
- Imprenta:
- Data da defesa: 04.05.2022
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- Cor do Acesso Aberto: gold
- Licença: cc-by-nc-sa
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ABNT
FRANCO ÁLVAREZ, Robinson. Determinação de propriedades mecânicas de filmes de DLC (Diamond-Like carbon) por meio de estruturas formadas por delaminação espontânea. 2022. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2022. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-15062022-071251/. Acesso em: 10 jan. 2026. -
APA
Franco Álvarez, R. (2022). Determinação de propriedades mecânicas de filmes de DLC (Diamond-Like carbon) por meio de estruturas formadas por delaminação espontânea (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-15062022-071251/ -
NLM
Franco Álvarez R. Determinação de propriedades mecânicas de filmes de DLC (Diamond-Like carbon) por meio de estruturas formadas por delaminação espontânea [Internet]. 2022 ;[citado 2026 jan. 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-15062022-071251/ -
Vancouver
Franco Álvarez R. Determinação de propriedades mecânicas de filmes de DLC (Diamond-Like carbon) por meio de estruturas formadas por delaminação espontânea [Internet]. 2022 ;[citado 2026 jan. 10 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-15062022-071251/
Informações sobre o DOI: 10.11606/T.43.2022.tde-15062022-071251 (Fonte: oaDOI API)
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