Indium tin oxide (ITO) and reduced graphene oxide/indium tin oxide (rGO/ITO) thin films: effect of synthesis parameters on ozone gas detection (2021)
- Authors:
- Autor USP: HERNANDEZ, LAUREANO JAVIER ENSUNCHO - IFSC
- Unidade: IFSC
- Sigla do Departamento: FCM
- DOI: 10.11606/D.76.2021.tde-15122021-112210
- Subjects: SENSOR; OZÔNIO
- Keywords: Electrical properties; Gas sensor; ITO; Ozone; Propriedades elétricas; Sensor de gás; Sputtering
- Agências de fomento:
- Language: Inglês
- Abstract: Atualmente, diferentes estratégias estão sendo empregadas para obter materiais sensores de gás com alta sensibilidade, resposta rápida, boa seletividade e baixos limites de detecção. Sensores de gás baseados em semicondutores de oxido metálicos (SMOs) resistivos estão entre os mais amplamente usados como aplicações de detecção de gás. No entanto, a maioria dos materiais apresenta baixa seletividade e alta temperatura de operação, senso assim necessário, utilizar diferentes estratégias para superar essas desvantagens e, ao mesmo tempo, atingir maior sensibilidade. Entre eles, o uso de óxidos metálicos binários e ternários, variações nas condições de síntese, bem como a implementação de SMOs com outros materiais, como por exemplo, com o oxido de grafeno reduzido (rGO) tem sido explorados. Nesse contexto, foram avaliadas a propriedades de detecção em relação ao gás ozônio de filmes finos de Óxido de Índio e Estanho (ITO) obtidos pelo método de pulverização catódica por radiofrequência. ITO, que é composto de óxido de índio (In2O3) e óxido de estanho (SnO2), foi depositado sob diferentes condições de deposição (recozimento térmico ex- e in- situ) e atmosfera de pulverização catódica (Ar ou Ar+O2), bem como a formação de um filme fino de rGO/ITO foi explorado. Os resultados mostram que a amostra tratada termicamente ex-situ a 300°C apresenta a melhor resposta ao ozônio em comparação com os processos ex- e in- situ a 500°C e 200°C, respectivamente, com uma ótima temperatura deoperação a 300°C para detecção de ozônio e espessura do filme igual a 100 nm. O filme depositado em atmosfera de argônio (Ar) apresentou uma resposta maior do que o filme tratado em uma atmosfera de argônio e oxigênio (Ar+O2). A formação de um filme de rGO com o filme de Ar (filme rGO/Ar) não levou a uma grande diferença de sensibilidade em relação ao filme de Ar. Por outro lado, o filme depositado sobre rGO e tratado em uma atmosfera de Ar+O2 exibiu uma maior resposta em relação ao filme de Ar+O2. Além disso, a resposta na detecção do ozônio do filme de rGO/Ar+O2 aumentou quando a temperatura operacional foi igual a 200°C. A 200°C, a resposta foi aproximadamente três vezes maior comparada com a medida realizada a 300°C
- Imprenta:
- Publisher place: São Carlos
- Date published: 2021
- Data da defesa: 16.11.2021
- Este periódico é de acesso aberto
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: gold
- Licença: cc-by-nc-sa
-
ABNT
ENSUNCHO HERNANDEZ, Laureano Javier. Indium tin oxide (ITO) and reduced graphene oxide/indium tin oxide (rGO/ITO) thin films: effect of synthesis parameters on ozone gas detection. 2021. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 2021. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-15122021-112210/. Acesso em: 28 dez. 2025. -
APA
Ensuncho Hernandez, L. J. (2021). Indium tin oxide (ITO) and reduced graphene oxide/indium tin oxide (rGO/ITO) thin films: effect of synthesis parameters on ozone gas detection (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-15122021-112210/ -
NLM
Ensuncho Hernandez LJ. Indium tin oxide (ITO) and reduced graphene oxide/indium tin oxide (rGO/ITO) thin films: effect of synthesis parameters on ozone gas detection [Internet]. 2021 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-15122021-112210/ -
Vancouver
Ensuncho Hernandez LJ. Indium tin oxide (ITO) and reduced graphene oxide/indium tin oxide (rGO/ITO) thin films: effect of synthesis parameters on ozone gas detection [Internet]. 2021 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-15122021-112210/ - Effect of deposition parameters on the gas sensing properties of In2O3-Sn2O2 (ITO) compound
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Informações sobre o DOI: 10.11606/D.76.2021.tde-15122021-112210 (Fonte: oaDOI API)
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