High speed e-beam writing for large area photonic nanostructures: a choice of parameters (2016)
- Authors:
- Autor USP: MARTINS, EMILIANO REZENDE - EESC
- Unidade: EESC
- DOI: 10.1038/srep32945
- Subjects: NANOTECNOLOGIA; ÓPTICA; FOTÔNICA; FEIXES ÓPTICOS; ENGENHARIA ELÉTRICA
- Agências de fomento:
- Financiado pelo Ministry of Science and Technology of China.
- Financiado pelo Guangzhou Science and Technology Projects.
- Financiado pelo Natural Science Foundation of Guangdong.
- Financiado pelo National Natural Science Foundation of China.
- Financiado pelo State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University of China.
- Financiado pelo Fundamental Research Funds for the Central Universities, EPSRC of U.K.
- Financiado pela FAPESP.
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: London, United Kingdom
- Date published: 2016
- Source:
- Título: Scientific Reports
- ISSN: 2045-2322
- Volume/Número/Paginação/Ano: n. 6, ID 32945, p. 1-10, 2016
- Status:
- Artigo publicado em periódico de acesso aberto (Gold Open Access)
- Versão do Documento:
- Versão publicada (Published version)
- Acessar versão aberta:
-
ABNT
KEZHENG, Li et al. High speed e-beam writing for large area photonic nanostructures: a choice of parameters. Scientific Reports, n. 6, p. 1-10, 2016Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1038/srep32945. Acesso em: 04 abr. 2026. -
APA
Kezheng, L., Juntao, L., Reardon, C., Schuster, C., Yue, W., Triggs, G. J., et al. (2016). High speed e-beam writing for large area photonic nanostructures: a choice of parameters. Scientific Reports, ( 6), 1-10. doi:10.1038/srep32945 -
NLM
Kezheng L, Juntao L, Reardon C, Schuster C, Yue W, Triggs GJ, Damnik N, Müenchenberger J, Xuehua W, Martins ER, Krauss TF. High speed e-beam writing for large area photonic nanostructures: a choice of parameters [Internet]. Scientific Reports. 2016 ;( 6): 1-10.[citado 2026 abr. 04 ] Available from: https://doi.org/10.1038/srep32945 -
Vancouver
Kezheng L, Juntao L, Reardon C, Schuster C, Yue W, Triggs GJ, Damnik N, Müenchenberger J, Xuehua W, Martins ER, Krauss TF. High speed e-beam writing for large area photonic nanostructures: a choice of parameters [Internet]. Scientific Reports. 2016 ;( 6): 1-10.[citado 2026 abr. 04 ] Available from: https://doi.org/10.1038/srep32945 - Metal-insulator-metal nanoresonators: strongly confined modes for high surface sensitivity
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