Tese

Produção e caracterização de filmes finos de TiO2 (2018)

• Authors:
  • Mendonça, Bianca Jardim
  • Chubaci, José Fernando Diniz (Orientador)
• Autor USP: MENDONÇA, BIANCA JARDIM - IF
• Unidade: IF
• Sigla do Departamento: FNC
• Assunto: FÍSICA NUCLEAR
• Keywords: DIÓXIDO DE TITÂNIO; MAGNETRON SPUTTERING; BAD GAP; CONSTANTE DIELÉTRICA; ANATASE; RUTILA
• Language: Português
• Abstract: Nesse trabalho foram fabricados filmes finos de TiO2 por RF magnetron sputtering reativo sobre substrato de silício (1 0 0). A pressão parcial do oxigênio na câmara foi variada de 5 a 100% em relação ao argônio. Após a deposição os filmes foram submetidos a tratamento térmico em atmosfera de oxigênio. A estequiometria dos filmes e o perfil de profundidade foram obtidos por RBS. A estrutura cristalina foi obtida por XRD. As propriedades ópticas foram obtidas por interferometria e reflectância e as elétricas por meio das curvas C-V. Os valores de espessura dos filmes sem tratamento térmico aumentaram aproximadamente 41% com o aumento do oxigênio na câmara de deposição. Essa variação está ligada ao aumento da eficiência do sputtering do alvo. Os índices de refração dos filmes sem tratamento térmico se mantiveram dentro de um intervalo de aproximadamente 2,3 a 2,4. A diminuição do band gap com o tratamento térmico é consequência da mudança de fase cristalográfica de anatase para rutila. A estequiometria TiOx dos filmes antes do tratamento térmico apresentaram valores de x entre 2,0 e 2,4. A espessura em TFU dos filmes aumentou com o percentual de oxigênio na câmara. As amostras que receberam tratamento térmico apresentaram difusão de titânio na interface do substrato e incorporação de oxigênio no filme. Os valores da constante dielétrica aumentaram com o percentual de oxigênio na câmara, em contraposição com o efeito do tratamento térmico que diminuiu o valor. Todos os resultados observados são coerentes do ponto de vista da mudança de fase anatase rutila e aumento do percentual de oxigênio na câmara.
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 2018
• Data da defesa: 23.03.2018


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How to cite

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• ABNT

  MENDONÇA, Bianca Jardim. Produção e caracterização de filmes finos de TiO2. 2018. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2018. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03052018-111901/. Acesso em: 26 abr. 2024.

• APA

  Mendonça, B. J. (2018). Produção e caracterização de filmes finos de TiO2 (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03052018-111901/

• NLM

  Mendonça BJ. Produção e caracterização de filmes finos de TiO2 [Internet]. 2018 ;[citado 2024 abr. 26 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03052018-111901/

• Vancouver

  Mendonça BJ. Produção e caracterização de filmes finos de TiO2 [Internet]. 2018 ;[citado 2024 abr. 26 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-03052018-111901/

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