Artigo de periodico

Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13 (2016)

• Authors:
  • Silva, Guilherme Faria da
  • Kraszczuk, André
  • Tschiptschin, André Paulo
• USP affiliated authors: TSCHIPTSCHIN, ANDRE PAULO - EP ; KRASZCZUK, ANDRÉ - EP ; SILVA, GUILHERME FARIA DA - EP
• Unidade: EP
• DOI: 10.17563/rbav.v35i3.1040
• Subjects: FILMES FINOS; AÇO FERRAMENTA; TITÂNIO
• Language: Português
• Abstract: Filmes finos de nitreto de titânio (TiN) foram depositados por magnetron sputtering reativo com fonte DC pulsada em substratos de aço ferramenta AISI H13 e silício polido (100). A microestrutura e as propriedades mecânicas foram analisadas utilizando difração de raios-X, Espectroscopia Raman, nanodureza e microscópio eletrônico de varredura com canhão de efeito de campo (MEVFEG). O delineamento de experimentos (DOE) foi aplicado para estudar as interações entre as variáveis dos experimentos e para identificar quais os efeitos e interações afetam o procedimento experimental de maneira significativa. Os resultados mostram que os espectros Raman podem ser usados como uma técnica complementar ao DRX para caracterizar revestimentos de TiN. As espessuras dos filmes variaram entre 600 e 1942 nm. A condição com diferença de potencial de –150 V e fluxo de nitrogênio de 5 sccm mostrou-se mais eficiente no crescimento de filmes com nanodureza próxima de 28 GPa, podendo estar relacionado com a densidade microestrutural do revestimento.
• Imprenta:
  • Publisher place: Campinas
  • Date published: 2016
• Source:
  • Título: Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo
  • ISSN: 0101-7659
  • Volume/Número/Paginação/Ano: v.35, n.3, p. 123-127, set./dez. 2016

Informações sobre o DOI: 10.17563/rbav.v35i3.1040 (Fonte: oaDOI API)
• Este periódico é de acesso aberto
• Este artigo NÃO é de acesso aberto
  

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• ABNT

  SILVA, Guilherme Faria da e KRASZCZUK, André e TSCHIPTSCHIN, André Paulo. Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13. Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, v. 35, n. 3, p. 123-127, 2016Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.17563/rbav.v35i3.1040. Acesso em: 12 fev. 2026.

• APA

  Silva, G. F. da, Kraszczuk, A., & Tschiptschin, A. P. (2016). Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13. Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, 35( 3), 123-127. doi:10.17563/rbav.v35i3.1040

• NLM

  Silva GF da, Kraszczuk A, Tschiptschin AP. Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13 [Internet]. Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo. 2016 ;35( 3): 123-127.[citado 2026 fev. 12 ] Available from: https://doi.org/10.17563/rbav.v35i3.1040

• Vancouver

  Silva GF da, Kraszczuk A, Tschiptschin AP. Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13 [Internet]. Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo. 2016 ;35( 3): 123-127.[citado 2026 fev. 12 ] Available from: https://doi.org/10.17563/rbav.v35i3.1040

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