Refino de silício por tratamento a vácuo

Refino de silício por tratamento a vácuo (2014)

Authors:
Autor USP: MOURÃO, MARCELO BREDA - EP
Unidade: EP
DOI: 10.4322/tmm.2014.041
Subjects: SILÍCIO; VÁCUO; FÓSFORO
Language: Português
Abstract: Este trabalho visa investigar a remoção a vácuo de fósforo do silício grau metalúrgico (SiGM) (98,5% a 99% de Si). Foram realizados experimentos de fusão em forno de indução a vácuo, variando parâmetros como temperatura, tempo e relação área exposta ao vácuo / volume de silício. Os resultados de análise química foram obtidos por plasma acoplado indutivamente (ICP) e avaliados com base em aspectos termodinâmicos e cinéticos da reação de vaporização do fósforo no silício. Obteve-se refino de 33 para cerca de 1,5 ppm de P em três horas, concluindo-se que a etapa de evaporação é a etapa controladora do processo para os parâmetros de temperatura, pressão e agitação utilizados, e que o refino por este processo é tecnicamente viável. Palavras-chave: Purificação; Silício; Vácuo; Fósforo.
Imprenta:
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 2014
Source:
- Título do periódico: Tecnologia em Metalurgia, Materiais e Mineração
- ISSN: 2176-1523
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 11, n.4, p. 304-310, ou./dez. 2014

Informações sobre o DOI: 10.4322/tmm.2014.041 (Fonte: oaDOI API)

Tipo	Nome	Link
	MOURÃO-2014-2674059-Refi...

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ABNT

LOTTO, André Alexandrino e FERREIRA NETO, João Batista e MOURÃO, Marcelo Breda. Refino de silício por tratamento a vácuo. Tecnologia em Metalurgia, Materiais e Mineração, v. 11, n. 4, p. 304-310, 2014Tradução . . Disponível em: http://tecnologiammm.com.br/files/v11n4/v11n4a04.pdf. Acesso em: 03 out. 2023.
APA

Lotto, A. A., Ferreira Neto, J. B., & Mourão, M. B. (2014). Refino de silício por tratamento a vácuo. Tecnologia em Metalurgia, Materiais e Mineração, 11( 4), 304-310. doi:10.4322/tmm.2014.041
NLM

Lotto AA, Ferreira Neto JB, Mourão MB. Refino de silício por tratamento a vácuo [Internet]. Tecnologia em Metalurgia, Materiais e Mineração. 2014 ; 11( 4): 304-310.[citado 2023 out. 03 ] Available from: http://tecnologiammm.com.br/files/v11n4/v11n4a04.pdf
Vancouver

Lotto AA, Ferreira Neto JB, Mourão MB. Refino de silício por tratamento a vácuo [Internet]. Tecnologia em Metalurgia, Materiais e Mineração. 2014 ; 11( 4): 304-310.[citado 2023 out. 03 ] Available from: http://tecnologiammm.com.br/files/v11n4/v11n4a04.pdf