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Microscopia interferométrica holográfica para a caracterização de microtransdutores (2014)

  • Authors:
  • Autor USP: FERREIRA, MERILYN SANTOS - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: INTERFEROMETRIA; HOLOGRAFIA; MICROSCOPIA
  • Language: Português
  • Abstract: A finalidade deste trabalho é aplicar a técnica de holografia em cristais fotorrefrativos para o estudo de propriedades mecânicas e dinâmicas de microdispositivos, garantindo ainda a obtenção de uma geometria de arranjo holográfico simples e compacto. Foram feitas a análise de vibração e a análise de deformação de microdispositivos por meio da interferometria de média temporal e de dupla exposição, respectivamente. Como fontes de luz, foram utilizados lasers de diodo emitindo em 670nm, e um laser de He-Ne emitindo em 633nm. Como meio fotorrefrativo de registro holográfico foi utilizado o cristal Bi₁₂TiO₂₀, (BTO) da família das selenitas. Foi proposto um arranjo óptico de holografia de reflexão do tipo Denisiuk, e a este arranjo foi adicionado um conjunto de lentes objetiva e ocular para formar uma configuração de microscópio composto, com o objetivo de se obter imagens holográficas de objetos com tamanhos bastante reduzidos. A gravação e a reconstrução do holograma se deram simultaneamente, devido à associação do cristal fotorrefrativo a uma câmera CMOS. Desta maneira, a observação dos hologramas foi feita em tempo real. Foram feitas, inicialmente, imagens de dupla exposição de piezorresistores MEMS (microelectromechanical systems), de geometria reduzida (2,96 x 0,6 – mm²), e de dispositivos CMUT (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers) com 640µm de diâmetro. Foram observadas imagens holográficas de boa qualidade, confirmando a aptidão do arranjo para a obtenção de interferogramas de microdispositivos. Foram obtidas também imagens de cerâmicas e transdutores piezoelétricos, porém, iluminando apenas pequenas regiões destes objetos. Estas imagens mostraram qualidade razoável, comprovando a aplicabilidade da técnica de média temporal neste arranjo. Para investigar as potencialidades microscópicas foram feitas imagens de padrões de teste de resolução.Estas imagens mostraram boa qualidade para estruturas da ordem de dezenas de micrômetros.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 28.01.2014
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      FERREIRA, Merilyn Santos; BARBOSA, Eduardo Acedo. Microscopia interferométrica holográfica para a caracterização de microtransdutores. 2014.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2014. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14122014-111144/pt-br.php >.
    • APA

      Ferreira, M. S., & Barbosa, E. A. (2014). Microscopia interferométrica holográfica para a caracterização de microtransdutores. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14122014-111144/pt-br.php
    • NLM

      Ferreira MS, Barbosa EA. Microscopia interferométrica holográfica para a caracterização de microtransdutores [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14122014-111144/pt-br.php
    • Vancouver

      Ferreira MS, Barbosa EA. Microscopia interferométrica holográfica para a caracterização de microtransdutores [Internet]. 2014 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14122014-111144/pt-br.php

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