Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos (2014)
- Authors:
- Autor USP: ALMEIDA, GUSTAVO FORESTO BRITO DE - IFSC
- Unidade: IFSC
- Sigla do Departamento: FCM
- Subjects: LASER; SILÍCIO; FILMES FINOS
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho investigamos as modificações na morfologia superficial e estrutura de filmes finos de silício amorfo hidrogenado, resultantes da irradiação com pulsos ultracurtos de femtossegundos (150 fs, 775 nm e 1 kHz). Os processos de microfabricação foram conduzidos varrendo, a velocidade constante, um feixe laser com diferentes fluências (1,8 a 6,2 MJ/m2) sobre a amostra. Os espectros de transmissão apresentaram queda para amostras irradiadas, cujas imagens de microscopia eletrônica de varredura mostraram estruturas superficiais condizentes com o fenômeno de LIPSS (Laser Induced Periodic Surface Structures). Uma análise estatística das imagens de microscopia de força atômica foi realizada com um programa que identifica e caracteriza os domínios (picos) produzidos pela microfabricação. O histograma de altura da amostra irradiada com uma fluência de 3,1 MJ/m2 mostrou que a altura média dos picos produzidos é de 15 nm, menor que o centro da distribuição de alturas para uma amostra não irradiada. Porém, para fluências acima de 3,7 MJ/m2 a morfologia é dominada pela formação de agregados. Medidas de espectroscopia Raman revelaram a formação de uma fração de silício cristalino, após a irradiação com pulsos de femtossegundos, de até 77% para 6,2 MJ/m2. Determinamos ainda uma diminuição da dimensão dos nanocristais produzidos com o aumento da fluência do laser de excitação. Portanto, nossos resultados mostram que há um compromisso entre as propriedades obtidas pelamicrofabricação (transmissão, distribuição de picos, fração de cristalização e tamanho dos nanocristais produzidos) que deve ser levado em conta ao aplicar a técnica de microestruturação com laser de femtossegundos
- Imprenta:
- Publisher place: São Carlos
- Date published: 2014
- Data da defesa: 20.02.2014
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ABNT
ALMEIDA, Gustavo Foresto Brito de. Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos. 2014. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 2014. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-05052014-112028/. Acesso em: 28 dez. 2025. -
APA
Almeida, G. F. B. de. (2014). Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-05052014-112028/ -
NLM
Almeida GFB de. Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos [Internet]. 2014 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-05052014-112028/ -
Vancouver
Almeida GFB de. Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos [Internet]. 2014 ;[citado 2025 dez. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-05052014-112028/ - Femtosecond laser writing of nonlinear waveguides in Gorilla® Glass and L-threonine organic crystals
- Microfabricação com pulsos laser ultracurtos em materiais cristalinos
- Controlled drug delivery system by fs-laser micromachined biocompatible rubber latex membranes
- Incubation effect study of GaN films under ultrafast laser pulse micromachining
- Incubation effect during laser micromachining of GaN films with femtosecond pulses
- Localized nitrogen-vacancy centers generated by low-repetition rate fs-laser pulses
- Influence of direct fs-laser writing experimental conditions on the production of color center in diamond
- Third-order nonlinear spectrum of GaN under femtosecond-pulse excitation from the visible to the near infrared
- Propriedades ópticas não-lineares de guias de onda produzidas por pulsos de femtossegundos em Gorilla® Glass
- Femtosecond direct laser writing of silk fibroin optical waveguides
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