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Tese

Sensor de vazão para aplicação em sistemas microfluídicos (2012)

  • Authors:
  • Autor USP: MIELLI, MURILO ZUBIOLI - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Assunto: FABRICAÇÃO (MICROELETRÔNICA)
  • Language: Português
  • Abstract: Este trabalho apresenta o desenvolvimento de um sensor térmico de vazão integrado a um microcanal. Todo o ciclo de desenvolvimento é abordado: conceito, modelagem e simulação, fabricação e caracterização. O sensor é composto por um filamento de níquel fabricado sobre uma lâmina de vidro que é soldada a um bloco de polidimetilsiloxano (PDMS) contendo microcanais. A aferição da vazão no interior do microcanal é feita indiretamente através da medida da troca de calor entre o filamento e o fluido. As simulações por elementos finitos mostraram que o sensor apresenta três faixas de operação, sendo que em duas delas (fluxos menores do que 20 µL/min ou maiores do que 130 µL/min) a resposta elétrica do sensor varia linearmente com a vazão. Diversos sensores foram fabricados seguindo o processo de fabricação proposto e alguns dispositivos foram caracterizados eletricamente, tendo sido levantadas as curvas da tensão elétrica sobre o filamento em função da vazão no microcanal. Os resultados experimentais mostraram que os sensores fabricados são capazes de medir vazões da ordem de dezenas de microlitros por minuto na faixa de operação de menor sensibilidade. Métodos de fabricação alternativos foram propostos com o intuito de aumentar a sensibilidade do sensor, produzindo filamentos auto-sustentados no interior dos microcanais. Foi proposto um modelo para simulação comportamental dos sensores otimizados por elementos concentrados e os resultados preliminares tanto de simulação quanto de fabricação desses sensores foram apresentados.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 27.07.2012
    • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      MIELLI, Murilo Zubioli. Sensor de vazão para aplicação em sistemas microfluídicos. 2012. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2012. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03072013-153723/. Acesso em: 28 jan. 2026.

    • APA

      Mielli, M. Z. (2012). Sensor de vazão para aplicação em sistemas microfluídicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03072013-153723/

    • NLM

      Mielli MZ. Sensor de vazão para aplicação em sistemas microfluídicos [Internet]. 2012 ;[citado 2026 jan. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03072013-153723/

    • Vancouver

      Mielli MZ. Sensor de vazão para aplicação em sistemas microfluídicos [Internet]. 2012 ;[citado 2026 jan. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-03072013-153723/

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