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Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering (2012)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: BONTEMPO, LEONARDO - EP
  • Unidades: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: NANOPARTÍCULAS; FILMES FINOS
  • Language: Português
  • Abstract: O material estudado tem possíveis aplicações em microeletrônica como dielétrico em capacitores e transistores MOS, e como camada de passivação em dispositivos de potência.Este trabalho tem como objetivo a produção e caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro para aplicações em microeletrônica. Filmes finos foram produzidos por magnetron sputtering a partir de alvos de telureto cerâmico e de ouro metálico. Foi desenvolvida metodologia adequada para a nucleação das nanopartículas de ouro por meio de tratamento térmico. Foram nucleadas nanopartículas de ouro a fim de que fossem observadas as influências nas propriedades elétricas. Os filmes foram depositados sobre substrato de silício, e para as medidas elétricas, ilhas de alumínio foram depositadas sobre o filme, utilizando-se os processos convencionais de microeletrônica: limpeza química, deposição por sputtering e evaporação. Com a finalidade de verificar a nucleação das nanopartículas metálicas, foram realizadas análises por Microscopia Eletrônica de Transmissão que indicaram a presença de nanopartículas metálicas, cristalinas, aproximadamente esféricas e com tamanho médio aproximado entre 1,5 e 5 nm. Outras técnicas de caracterização usadas foram microscopia de força atômica, perfilometria e extração de curvas da capacitância e condutância em função da tensão. Foram produzidos filmes com diversas espessuras com e sem nanoparticulas de ouro. Por meio das medidas de capacitância em função da tensão foi possível determinar a interferência das nanopartículas metálicas na constante dielétrica (k). Os resultados obtidos mostram aumento do valor de k de aproximadamente 70%, na presença de nanopartículas de ouro. Cabe ressaltar o resultado obtido para os filmes com espessura de 32,8 nm, para os quais o valor da constante dielétrica varia de 9,4 para 12,2, para tratamentos de 10 e 20 h, respectivamente.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 15.02.2012
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    • ABNT

      BONTEMPO, Leonardo; KASSAB, Luciana Reyes Pires. Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering. 2012.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2012. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/pt-br.php >.
    • APA

      Bontempo, L., & Kassab, L. R. P. (2012). Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/pt-br.php
    • NLM

      Bontempo L, Kassab LRP. Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering [Internet]. 2012 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/pt-br.php
    • Vancouver

      Bontempo L, Kassab LRP. Caracterização elétrica de filmes finos de telureto com nanopartículas de ouro depositados pela técnica sputtering [Internet]. 2012 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18102012-103632/pt-br.php


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