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Tese

Produção e caracterização de filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos (2012)

  • Authors:
  • Autor USP: IZUMI, FÁBIO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: FILMES FINOS; DISPOSITIVOS ÓPTICOS; FOTÔNICA
  • Language: Português
  • Abstract: O presente trabalho possui como objetivo o estudo das propriedades dos filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos. Foram produzidos, por meio da técnica sputtering, filmes finos de telureto BWT, a partir de alvos cerâmicos com composição em peso de 54,6 TeO2 - 22,6 WO3 - 22,8 Bi2O3. A escolha dos vidros BWT se deve às qualidades elétricas e ópticas dos teluretos. Filmes com nanopartículas de ouro foram produzidos e a nucleação das nanopartículas se deu por tratamento térmico. Os filmes produzidos foram caracterizados pelas técnicas de elipsometria, perfilometria, espectrometria de fluorescência de raios-X por energia dispersiva, difração de raios-X, transmissão, absorção e microscopia eletrônica de transmissão e de varredura. Como etapa, final foram produzidos guias de onda do tipo rib por meio de procedimentos de corrosão e litografia, a fim de que fossem testados guiamentos de luz em 632,8 nm e em 1050 nm. Foram usados diferentes fluxos de SF6 para corrosão dos filmes, resultando em guias de diferentes valores de h_core. Os guias com h_core de 63 e 82 nm apresentaram perda de no máximo 3,5 dB/cm para guiamento em 632,8 e 1050 nm em guias com larguras que variaram de 6 a 10 m. As simulações realizadas mostraram guiamento multímodo para todos os casos. O material BWT é, portanto, promissor para aplicações em dispositivos fotônicos.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 10.02.2012
    • Acesso à fonte
    How to cite
    A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

    • ABNT

      IZUMI, Fábio. Produção e caracterização de filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos. 2012. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2012. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23032012-115636/. Acesso em: 28 jan. 2026.

    • APA

      Izumi, F. (2012). Produção e caracterização de filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23032012-115636/

    • NLM

      Izumi F. Produção e caracterização de filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos [Internet]. 2012 ;[citado 2026 jan. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23032012-115636/

    • Vancouver

      Izumi F. Produção e caracterização de filmes finos amorfos para aplicações em dispositivos fotônicos [Internet]. 2012 ;[citado 2026 jan. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-23032012-115636/

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