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Estudo das propriedades eletro ópticas de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e de sua aplicação em dispositivos fotônicos e ópto eletrônicos (2011)

  • Authors:
  • Autor USP: MEDEIROS, MARINA SPARVOLI DE - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: SEMICONDUTORES; SENSOR; ÓPTICA ELETRÔNICA; FILMES FINOS
  • Language: Português
  • Abstract: O nitreto de índio (InN) e seus derivados (como o oxi-nitreto de índio) são materiais com alta potencialidade de aplicações em dispositivos optoeletrônicos devido às suas propriedades ópticas e eletrônicas. Para o InN foi obtido originalmente um band gap em torno de 1,9 eV e, apesar deste valor aparecer com freqüência na literatura, têm se obtido valores entre 0,7 e 0,9 eV nos últimos anos para filmes depositados por MBE. Como os principais objetivos deste projeto foram a deposição e caracterização de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e o desenvolvimento de um dispositivo na faixa do infravermelho, foi priorizada a obtenção destes filmes finos com band gap inferior a 1,75 eV. Os filmes de InN foram depositados através de dois métodos: deposição por sputtering e deposição assistida por feixes de íons (IBAD), métodos que permitem o controle da estequiometria e a cristalização dos filmes produzidos. Foram feitas análises de propriedades elétricas e ópticas através de técnicas como espectroscopia no infravermelho, difração por Raio-X, efeito Hall e análise de corrente em função de tensão. Os filmes produzidos por sputtering apresentaram características superiores (como resposta à luz, cristalinidade) aos filmes produzidos por IBAD. Embora o band gap resultante para os filmes depositados por ambas técnicas seja similar, outras análises como difração por Raio-X apresentaram resultados estruturais muito abaixo dos esperados para o nitreto de índio produzido por IBAD. Quando adicionado hidrogênio ao processo de deposição por sputtering, verificou-se uma melhora nas características estruturais, ópticas e elétricas do InN; o filme apresentou efeito fotoelétrico mais intenso, o que é um bom resultado, já que ele será utilizado na fabricação de um sensor. Foram estudados também filmes finos de oxi-nitreto de índio.Esta liga ternária pertence a uma classe nova de materiais com propriedades ópticas, mecânicas e elétricas potencialmente interessantes para aplicações industriais. Numerosas propriedades do InNO, como por exemplo, índice de refração e intensidade do efeito fotoelétrico, variam de acordo com a proporção de oxigênio e nitrogênio contida no filme formado.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 25.08.2011
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      MEDEIROS, Marina Sparvoli de; CHUBACI, José Fernando Diniz; MANSANO, Ronaldo Domingues. Estudo das propriedades eletro ópticas de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e de sua aplicação em dispositivos fotônicos e ópto eletrônicos. 2011.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2011. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09122011-094234/pt-br.php >.
    • APA

      Medeiros, M. S. de, Chubaci, J. F. D., & Mansano, R. D. (2011). Estudo das propriedades eletro ópticas de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e de sua aplicação em dispositivos fotônicos e ópto eletrônicos. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09122011-094234/pt-br.php
    • NLM

      Medeiros MS de, Chubaci JFD, Mansano RD. Estudo das propriedades eletro ópticas de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e de sua aplicação em dispositivos fotônicos e ópto eletrônicos [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09122011-094234/pt-br.php
    • Vancouver

      Medeiros MS de, Chubaci JFD, Mansano RD. Estudo das propriedades eletro ópticas de filmes finos de nitreto de índio nanoestruturado e de sua aplicação em dispositivos fotônicos e ópto eletrônicos [Internet]. 2011 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-09122011-094234/pt-br.php

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