Tese

Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless (2011)

• Authors:
  • Martins, André Luis
  • Rodrigues, Evandro Luis Linhari (Orientador)
• Autor USP: MARTINS, ANDRÉ LUÍS - EESC
• Unidade: EESC
• Sigla do Departamento: SEL
• Subjects: PROCESSAMENTO DE SINAIS ÓPTICOS; ESPECTROFOTOMETRIA; FILMES FINOS; MONITOR; ÓPTICA
• Language: Português
• Abstract: Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O sistema tradicional de monitoramento de espessura de filmes, baseado em cristal ressonante, não atende aos requisitos de rescisão e repetibilidade do processo exigidos para a fabricação deste tipo de filtro. Já o monitoramento óptico, por sua vez, é um sistema que atende aos requisitos de fabricação destes filtros. Neste trabalho apresenta-se o desenvolvimento de um sistema automático de monitoramento óptico banda larga, para fabricação de filtros com filmes finos multicamadas, que se baseia na utilização de equipamentos ópticos de uso geral disponíveis no mercado. Para realizar análises de desempenho referentes exclusivamente ao algoritmo de automatização, um ambiente de simulação foi preparado, no qual os dados fornecidos pelo equipamento de aquisição de características ópticas durante a deposição efetiva foram substituídos por dados gerados por um algo ritmo de simulação de crescimento do filme. Deste modo, o algoritmo de automatização e seus sistemas de segurança puderam ser exercitados. As simulações mostraram que o sistema proposto possui potencial para tornar mais preciso e repetitivo o processo de fabricação de filtros, de modo que atendam aos requisitos das aplicações especiais
• Imprenta:
  • Publisher place: São Carlos
  • Date published: 2011
• Data da defesa: 24.03.2011


---

How to cite

A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas

• ABNT

  MARTINS, André Luis. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless. 2011. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 2011. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/. Acesso em: 16 abr. 2024.

• APA

  Martins, A. L. (2011). Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/

• NLM

  Martins AL. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless [Internet]. 2011 ;[citado 2024 abr. 16 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/

• Vancouver

  Martins AL. Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless [Internet]. 2011 ;[citado 2024 abr. 16 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/

Últimas obras dos mesmos autores vinculados com a USP cadastradas na BDPI:

• Desentrelaçamento de vídeo com suporte de um detector de efeito feathering e de um índice de concentração de artefatos