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Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC (2010)

  • Authors:
  • Autor USP: RIZZO, VINÍCIUS ZACARIAS - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: DISPOSITIVOS ÓPTICOS (FABRICAÇÃO); FILMES FINOS; CARBONO
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho foram estudadas as características elétricas e ópticas de filmes de carbono tipo diamante (DLC – Diamond-Like Carbon) depositados em um sistema de sputtering RF magnetron reativo em substratos de silício e vidro. Foram depositadas amostras em condições de processo distintas em cada tipo de substrato, sendo duas condições de pressão (5 mTorr e 10 mTorr) e para cada uma, quatro condições de potência da RF aplicada (100 W, 150 W, 200 W e 250 W). Os filmes depositados foram submetidos às seguintes técnicas de caracterização: perfilometria, para obtenção a espessura dos filmes e com isso a taxa de deposição; elipsometria, para obtenção do índice de refração; caracterização elétrica através da curva I-V, para obtenção da resistividade e cálculo do ganho de foto corrente, e da curva C-V de alta freqüência, para cálculo da constante dielétrica dos filmes; transmitância óptica, para o cálculo do gap óptico através do método de Tauc; fotoluminescência, para determinar a emissão característica deste gap; e espectroscopia de infravermelho por transformada de Fourier (FTIR), para se observar os tipos de ligações presentes no filme e se calcular a relação entre hibridizações sp3 e sp2 entre átomos de carbono e hidrogênio no filme. As variações de algumas características dos filmes de DLC com os parâmetros de processo são apresentadas e comparadas. De acordo com as características dos filmes obtidos neste trabalho, com a variação dos parâmetros de processo, é possível sua aplicação como dielétrico de campo, por apresentarem baixa constante dielétrica, sendo o valor mais baixo obtido igual a 3,4; como material dielétrico de porta considerando os filmes com alta constante dielétrica, chegando a 6,7; como material para cobertura, devido à alta uniformidade (até 95%);e, o que foi mais explorado neste trabalho, para aplicações como sensores foto sensíveis, sendo que o maior ganho de foto corrente obtido foi 67 vezes. A possibilidade de produção de filmes de DLC com diferentes propriedades através da variação das condições de processo mostra sua versatilidade para uso em diferentes aplicações.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 18.10.2010
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      RIZZO, Vinícius Zacarias; MANSANO, Ronaldo Domingues. Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC. 2010.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2010. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012011-143459/?&lang=pt-br >.
    • APA

      Rizzo, V. Z., & Mansano, R. D. (2010). Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012011-143459/?&lang=pt-br
    • NLM

      Rizzo VZ, Mansano RD. Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012011-143459/?&lang=pt-br
    • Vancouver

      Rizzo VZ, Mansano RD. Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC [Internet]. 2010 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012011-143459/?&lang=pt-br

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