Electrical, optical and structural studies of Shallow Buried Au-PMMA composite films formed by very low energy ion implantation (2009)
- Authors:
- USP affiliated authors: SALVADORI, MARIA CECILIA BARBOSA DA SILVEIRA - IF ; CATTANI, MAURO SERGIO DORSA - IF
- Unidade: IF
- Assunto: FILMES FINOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: AVS
- Publisher place: San Jose, CA
- Date published: 2009
- Source:
- Título do periódico: Technical Meeting
- Conference titles: AVS International Symposium and Exhibition
-
ABNT
TEIXEIRA, Fernanda de Sá et al. Electrical, optical and structural studies of Shallow Buried Au-PMMA composite films formed by very low energy ion implantation. 2009, Anais.. San Jose, CA: AVS, 2009. Disponível em: http://www2.avs.org/symposium2009/ProgramBooks/ProgramBook_Session_TF-WeM.pdf. Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Teixeira, F. de S., Salvadori, M. C. B. da S., Cattani, M. S. D., & Brown, I. G. (2009). Electrical, optical and structural studies of Shallow Buried Au-PMMA composite films formed by very low energy ion implantation. In Technical Meeting. San Jose, CA: AVS. Recuperado de http://www2.avs.org/symposium2009/ProgramBooks/ProgramBook_Session_TF-WeM.pdf -
NLM
Teixeira F de S, Salvadori MCB da S, Cattani MSD, Brown IG. Electrical, optical and structural studies of Shallow Buried Au-PMMA composite films formed by very low energy ion implantation [Internet]. Technical Meeting. 2009 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www2.avs.org/symposium2009/ProgramBooks/ProgramBook_Session_TF-WeM.pdf -
Vancouver
Teixeira F de S, Salvadori MCB da S, Cattani MSD, Brown IG. Electrical, optical and structural studies of Shallow Buried Au-PMMA composite films formed by very low energy ion implantation [Internet]. Technical Meeting. 2009 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www2.avs.org/symposium2009/ProgramBooks/ProgramBook_Session_TF-WeM.pdf - Metallization of CVD diamond films and the manufacture of multilevel structures
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